Сортировать по:
| Выпуск | Название | |
| Том 19, № 4 (2021) | Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. С. Ковальчук, А. А. Омельченко, В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, Д. В. Шестовский | ||
| "... duration have been carried out. To obtain thin SiO2 films by the RTP method, N-type:Ph 4.5 Оhm/□ (100 ..." | ||
| Том 20, № 4 (2022) | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. С. Ковальчук, А. А. Омельченко, В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, С. А. Демидович, В. В. Колос, В. А. Филипеня, Д. В. Шестовский | ||
| "... thermal processing (RTP) method by two-stage and three-stage processes have been carried out. Each ..." | ||
| Том 21, № 4 (2023) | Механизм формирования фиксированного заряда в слое SiO2, полученном термическим окислением кремния | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко | ||
| "... charge in SiO2 at thermal oxidation of silicon. The results of studying P-doped electron silicon (KEF 4 ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Электронно-микроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. A. Горушко | ||
| "... ,933 %. Быстрая термическая обработка (БТО) образцов проводилась в режиме теплового баланса путем облучения ..." | ||
| № 5 (2018) | КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ КОНТРОЛЬ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. Ф. Сенько, А. С. Сенько, В. А. Зеленин | ||
| "... Проведен расчет светотеневых изображений поверхностей полупроводниковых пластин кремния, полученных ..." | ||
| № 8 (2012) | КОНТРОЛЬ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ В СТРУКТУРАХ SI-SIO2 | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Зеленин | ||
| "... of the level of residual stresses in structures Si-SiO2 are presented. ..." | ||
| № 7 (125) (2019): Спецвыпуск | ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МНОГОСЛОЙНЫХ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР BaTiO3: Eu/SiO2 | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Д. А. Парафинюк, Н. В. Гапоненко, Т. Ф. Райченок | ||
| "... on quartz with 6 and 12 alternating layers BaTiO3:Eu/SiO2. The structures demonstrate photonic band gap ..." | ||
| Том 18, № 2 (2020) | ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕННЫХ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА МИКРОСТРУКТУРУ СИСТЕМЫ Pt-Si | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Горушко | ||
| "... облучения обратной стороны пластины некогерентным световым потоком в среде азота в диапазоне температур от ..." | ||
| Том 18, № 1 (2020) | ВЛИЯНИЕ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ОРИЕНТАЦИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН НА МЕХАНИЗМ ИХ АНОДИРОВАНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. Л. Гревцов, А. В. Клименко, А. Д. Гурбо, В. П. Бондаренко | ||
| "... Проведено исследование влияния кристаллографической ориентации кремниевых пластин на процесс ..." | ||
| № 4 (2018) | ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ И ПРОПУСКАНИЕ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ BaTiO3/SiO2 | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| К. С. Сукалин, Т. Ф. Райченок, Н. В. Гапоненко, К. В. Шейдакова, И. В. Луконина, П. А. Холов, И. В. Свешников, К. Р. Сома Раджи | ||
| "... показателем преломления BaTiO3/SiO2, на кварцевых и кремниевых подложках. Показано, что многослойные покрытия ..." | ||
| № 1 (2016) | ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ СТРУКТУРЫ ТИТАНОВЫХ ИМПЛАНТАТОВ НА РЕАКЦИЮ СО СТОРОНЫ КОСТНОЙ ТКАНИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. К. Лазарук, О. В. Купреева, Д. В. Исаев, Ф. А. Горбачев, А. С. Ластовка | ||
| "... Исследовано влияние состояния поверхности крепежных накостных титановых пластин и шурупов на рост ..." | ||
| № 2 (2017) | ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| М. В. Тумилович, Л. П. Пилиневич, А. М. Тарайкович, В. Е. Толстик, Г. А. Шеко | ||
| "... кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения. ..." | ||
| № 4 (2019) | РОБОТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев | ||
| "... кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой ..." | ||
| Том 18, № 6 (2020) | Исследование влияния условий подачи озоно-воздушной смеси на процесс удаления фоторезиста с поверхности кремниевой пластины | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| О. И. Тихон, С. И. Мадвейко, С. В. Бордусов, А. Л. Барахоев, П. В. Камлач | ||
| "... кремниевых пластин в среде озона от условий и параметров проведения процесса. Высокий окислительный потенциал ..." | ||
| Том 18, № 7 (2020) | Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев | ||
| "... Настоящая работа посвящена установлению зависимости температуры нагрева кремниевой пластины при ..." | ||
| Том 22, № 3 (2024) | Влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя с рабочей стороны кремниевой пластины на электрические параметры КМОП интегральных микросхем | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский | ||
| "... Установлено влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя на рабочей стороне пластины ..." | ||
| Том 22, № 5 (2024) | Особенности структуры пористого кремния, сформированного на сильнолегированных пластинах монокристаллического кремния электронного типа проводимости | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| У. П. Лопато, Д. Д. Лапутько, Н. Л. Гревцов, В. П. Бондаренко | ||
| "... пористого кремния, полученного анодированием сильнолегированных пластин монокристаллического кремния ..." | ||
| Том 20, № 7 (2022) | Влияние термической нагрузки при формировании контактов Al-Al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, Н. С. Ковальчук, Я. А. Соловьёв, Д. В. Шестовский, Д. В. Жигулин | ||
| "... This work is devoted to establishing the effect of using rapid thermal processing (RTP) method ..." | ||
| № 8 (2013) | ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. А. Хмыль, И. И. Кузьмар, Л. К. Кушнер, Н. В. Богуш, М. М. Борисик, С. М. Завадский | ||
| "... нестационарных режимов электролиза позволяет снизить их боковое разрастание и разновысотность по пластине ..." | ||
| Том 22, № 2 (2024) | Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленок | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. П. Достанко, С. И. Мадвейко, Е. В. Телеш, С. Н. Мельников, С. М. Завадский, Д. А. Голосов | ||
| "... , peculiarities and application of direct ion-beam deposition for formation of coatings based on SiO2 for optical ..." | ||
| № 1 (2012) | ОСОБЕННОСТИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ НИКЕЛЯ В МЕЗОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. Л. Долгий, С. Л. Прищепа, В. А. Петрович, В. П. Бондаренко | ||
| "... монокристаллических кремниевых пластин сформированы слои мезопористого кремния. Электрохимическим методом в пористый ..." | ||
| № 8 (2015) | АНАЛИЗ УСЛОВИЙ ВОЗБУЖДЕНИЯ СВЧ-РАЗРЯДА НИЗКОГО ВАКУУМА В ПЛАЗМОТРОНЕ РЕЗОНАТОРНОГО ТИПА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. И. Мадвейко, С. В. Бордусов, М. С. Лушакова | ||
| "... около 9000 см3 и помещении в СВЧ-разряд разного количества кремниевых пластин. Результаты расчетов ..." | ||
| № 3 (2014) | СТРУКТУРА И ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ АНОДНЫХ АЛЮМООКСИДНЫХ ПЛЕНОК, СФОРМИРОВАННЫХ В СЕРНОКИСЛОМ ЭЛЕКТРОЛИТЕ ВЫСОКОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. К. Лазарук, О. В. Купреева, В. Б. Высоцкий, А. И. Чевычелов, А. С. Летохо | ||
| "... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в сернокислом электролите высокой концентрации при ..." | ||
| № 7 (2014) | ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СОСТАВ ПОРИСТЫХ ПЛЕНОК АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЯХ ФОРМОВКИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Д. А. Сасинович, В. Б. Высоцкий, С. К. Лазарук | ||
| "... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в 2 % водном растворе серной кислоты при различных ..." | ||
| № 7 (2014) | ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ДИСПЛЕЙНЫХ И ОПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВАХ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Ю. В. Тимошков, В. И. Курмашев, А. А. Сакова, В. Ю. Тимошков | ||
| "... , поляризаторы, оптические функциональные слои, фазовые пластины (Optical Retarders ..." | ||
| № 3 (2015) | ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО АНОДИРОВАНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Е. Б. Чубенко, С. В. Редько, А. И. Шерстнев, В. А. Петрович, В. П. Бондаренко | ||
| "... Приведены результаты формирования слоев пористого кремния в пластинах монокристаллического кремния ..." | ||
| № 8 (2018) | РЕЖИМЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ СИСТЕМЫ Рt-Si ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДА ПЛАТИНЫ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко | ||
| "... Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пластины ..." | ||
| № 7 (125) (2019): Спецвыпуск | МОДЕЛИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНЫХ УЛЬТРАТОНКИХ ПЛЕНОЧНЫХ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛОВ ДЛЯ СЕЛЕКТИВНЫХ ФИЛЬТРОВ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Л. С. Хорошко, А. В. Баглов, А. А. Гнитько | ||
| "... 2:SiO2 layers varies from 1:1.88 in the case of a 16-layer structure with a photonic band gap ..." | ||
| Том 20, № 7 (2022) | Ап-конверсионная люминесценция в ксерогеле титаната бария, легированном эрбием и иттербием, в пористом анодном оксиде алюминия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Е. И. Лашковская, А. В. Гога, А. Н. Плиговка, Е. Б. Чубенко, В. Д. Живулько, Э. В. Монайко, Н. В. Гапоненко | ||
| "... ,Yb. Пористый анодный оксид алюминия изготавливали на кремниевой пластине и алюминиевой фольге ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Лавинные светодиоды на основе наноструктурированного кремния для оптических межсоединений | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Ле Динь Ви, А. А. Лешок, А. В. Долбик, С. Л. Перко, С. К. Лазарук | ||
| "... кремниевой пластины, используемой для передачи светового сигнала. Проведено исследование различных режимов ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко | ||
| "... двуокиси кремния на нерабочей стороне пластины. Проведение такой обработки позволяет, по сравнению со ..." | ||
| 1 - 31 из 31 результатов | ||
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)
