Для цитирования:

Солодуха В.А., Пилипенко В.А., Горушко В.А. РЕЖИМЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ СИСТЕМЫ Рt-Si ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДА ПЛАТИНЫ. Доклады БГУИР. 2018;(8):88-92.

For citation:

Solodukha V.A., Pilipenko V.A., Gorushko V.A. Rapid thermal treatment modes of the Рt-Si system for formation of platinum silicide. Doklady BGUIR. 2018;(8):88-92. (In Russ.)