Для цитирования:

Ковальчук Н.С., Пилипенко В.А., Соловьёв Я.А. Влияние импульсной фотонной обработки в среде азота на оптические и электрофизические характеристики слоев двуокиси кремния и ее границы с кремнием. Доклады БГУИР. 2025;23(3):5-11. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-3-5-11

For citation:

Kovalchuk N.S., Pilipenko V.A., Solovjov J.A. Effect of Pulsed Photon Processing in Nitrogen Ambient on Optical and Electrophysical Characteristics of Silicon Dioxide Layers of Its Boundaries with Silicon. Doklady BGUIR. 2025;23(3):5-11. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-3-5-11