РОБОТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Аннотация
Приведены конструктивные особенности автоматической установки быстрой термической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой спиралью КГТ 220-2000-3 в количестве 12 штук, которые обеспечивают нагрев пластины до 1200 оС со скоростью набора температуры 10–150 оС/с в течение 0,1−600 с. Предусмотрен процесс отжига как в вакууме, так и в различных газовых средах. Производительность установки с учетом загрузки пластины, создания вакуума в камере, напуска в камеру требуемого газа, термообработки по заданной программе и выгрузки составляет ≤ 60 пл./ч.
Об авторах
В. А. Солодуха
ОАО «ИНТЕГРАЛ» − управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Беларусь
к.т.н., генеральный директор
Беларусь
к.т.н., генеральный директор
В. А. Пилипенко
ОАО «ИНТЕГРАЛ» − управляющая компания холдинга «ИНТЕГРАЛ»
Беларусь
Беларусь
Пилипенко Владимир Александрович - д.т.н., профессор, член-корреспондент НАН Беларуси, заместитель директора по научному развитию ГЦ «Белмик-роанализ»
220108, г. Минск, ул. Казинца, 121А
тел. +375-17-212-37-41
В. П. Яковлев
ООО «Перспективные инновационные технологии»
Беларусь
к.т.н., директор
Беларусь
к.т.н., директор
Список литературы
1. Оборудование для импульсной термообработки материалов полупроводниковой электроники интенсивным некогерентным светом / В.Е. Борисенко [и др.] // Зарубежная электронная техника. 1985. № 6. С. 45–65.
2. Hebb J., Shajii А., Flynn M. Furnace-based rapid thermal proc // Solid State Technology. 2000. № 10. P. 155–164.
3. Оборудование для быстрой термообработки (БТО) в технологии создания СБИС / Я.И. Точицкий [и др.] // Вестник БГУ. Сер. 1. 2000. №.1 С. 33–37.
4. Установка импульсного отжига кремниевых пластин / Л.Д. Буйко [и др.] // Электронная техника. Сер. 7. 1986. Вып. 6. С.41–43.
5. Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТО / В.А. Пилипенко [и др.] // Вестник БГУ. Сер. 1. 2013. № 1. С. 34–37.
Рецензия
Для цитирования:
Солодуха В.А., Пилипенко В.А., Яковлев В.П. РОБОТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ. Доклады БГУИР. 2019;(4):92-97.
For citation:
Saladukha V.A., Pilipenko V.A., Yakovlev V.P. Rapid thermal treatment robotics unit for creation of electronic equipment devices. Doklady BGUIR. 2019;(4):92-97. (In Russ.)
Просмотров: 643
Послать статью по эл. почте 