Для цитирования:

Пилипенко В.А., Солодуха В.А., Ковальчук Н.С., Соловьёв Я.А., Шестовский Д.В., Жигулин Д.В. Влияние термической нагрузки при формировании контактов Al-Al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремний. Доклады БГУИР. 2022;20(7):20-27. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-7-20-27

For citation:

Pilipenko V.A., Solodukha V.A., Kovalchuk N.S., Solovjov J.A., Shestovski D.V., Zhyhulin D.V. Thermal Load Influence during the Formation of Al-Al Contacts on the Electrical Parameters of the Integrated Circuits with Aluminum-Polysilicon Contacts. Doklady BGUIR. 2022;20(7):20-27. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-7-20-27