Сортировать по:
| Выпуск | Название | |
| № 4 (2019) | РОБОТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев | ||
| "... кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой ..." | ||
| Том 18, № 7 (2020) | Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев | ||
| "... Настоящая работа посвящена установлению зависимости температуры нагрева кремниевой пластины при ..." | ||
| Том 18, № 6 (2020) | Исследование влияния условий подачи озоно-воздушной смеси на процесс удаления фоторезиста с поверхности кремниевой пластины | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| О. И. Тихон, С. И. Мадвейко, С. В. Бордусов, А. Л. Барахоев, П. В. Камлач | ||
| "... кремниевых пластин в среде озона от условий и параметров проведения процесса. Высокий окислительный потенциал ..." | ||
| Том 22, № 6 (2024) | Выбор траектории движения лазерного луча для формирования переходных отверстий в кремниевой подложке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. И. Лаппо | ||
| "... реализации последнего необходимо формирование переходных отверстий в кремниевой пластине. При создании ..." | ||
| Том 22, № 3 (2024) | Влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя с рабочей стороны кремниевой пластины на электрические параметры КМОП интегральных микросхем | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский | ||
| "... Установлено влияние рекристаллизации механически нарушенного слоя на рабочей стороне пластины ..." | ||
| Том 18, № 2 (2020) | ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕННЫХ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА МИКРОСТРУКТУРУ СИСТЕМЫ Pt-Si | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Горушко | ||
| "... (111) путем магнетронного распыления мишени из платины с чистотой 99,95 % на установке МРС 603 ..." | ||
| № 8 (2018) | РЕЖИМЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ СИСТЕМЫ Рt-Si ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДА ПЛАТИНЫ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко | ||
| "... Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пластины ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Электронно-микроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. A. Горушко | ||
| "... магнетронного распыления мишени из платины с чистотой 99,95 % на установке МРС 603 с криогенной откачкой ..." | ||
| Том 19, № 4 (2021) | Формирование подзатворного диэлектрика нанометровой толщины методом быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. С. Ковальчук, А. А. Омельченко, В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, Д. В. Шестовский | ||
| "... образцов использовали пластины кремния КЭФ4,5 (100). Предварительно образцы окислялись при 1000 ..." | ||
| Том 21, № 4 (2023) | Механизм формирования фиксированного заряда в слое SiO2, полученном термическим окислением кремния | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко | ||
| "... термическом окислении кремния. Приведены результаты исследования пластин кремния электронного, легированного ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Горушко | ||
| "... на нерабочей стороне пластины. Проведение такой обработки позволяет, по сравнению со стандартным процессом ..." | ||
| Том 20, № 4 (2022) | Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. С. Ковальчук, А. А. Омельченко, В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, С. А. Демидович, В. В. Колос, В. А. Филипеня, Д. В. Шестовский | ||
| "... ) производилась в течение 12 с при постоянной мощности галогеновых ламп и нагреве пластин до максимальной ..." | ||
| № 7 (2014) | ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СОСТАВ ПОРИСТЫХ ПЛЕНОК АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЯХ ФОРМОВКИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Д. А. Сасинович, В. Б. Высоцкий, С. К. Лазарук | ||
| "... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в 2 % водном растворе серной кислоты при различных ..." | ||
| Том 23, № 2 (2025) | Синтез пленочных сплавов кремний-германий на основе химически формируемых слоев пористого кремния | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. Л. Гревцов | ||
| "... химическим травлением слаболегированных кремниевых пластин. Показано, что сформированная в данном ..." | ||
| № 3 (2013) | ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПРОЦЕССОВ ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ НА ПРОМЫШЛЕННОМ ОБОРУДОВАНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| М. Н. Босяков, А. А. Козлов | ||
| "... установки. Наличие трех теплозащитных экранов снижает расход электроэнергии на стадии разогрева ..." | ||
| 1 - 15 из 15 результатов | ||
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)
