Для цитирования:

Соловьёв Я.А., Пилипенко В.А., Яковлев В.П. Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801». Доклады БГУИР. 2020;18(7):79-86. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-7-79-86

For citation:

Solovjov J.A., Pilipenko V.A., Yakovlev V.P. Simulation of silicon wafers heating during rapid thermal processing using “UBTO 1801” unit. Doklady BGUIR. 2020;18(7):79-86. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-7-79-86