Для цитирования:

Гревцов Н.Л. Синтез пленочных сплавов кремний-германий на основе химически формируемых слоев пористого кремния. Доклады БГУИР. 2025;23(2):20-27. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-20-27

For citation:

Grevtsov A.L. Synthesis of Silicon-Germanium Film Alloys Based on Chemically Formed Porous Silicon Layers. Doklady BGUIR. 2025;23(2):20-27. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-20-27