Электрофизические свойства структур с пленками титаната бария и оксида алюминия, сформированными золь-гель-методом на титане

Золь-гель-методом сформированы пленки оксида алюминия и титаната бария на подложках из титана и окисленного монокристаллического кремния. Исследована зависимость емкости и тангенса угла диэлектрических потерь от частоты конденсаторной структуры Al₂O₃/BaTiO₃/Ni в диапазоне 200 Гц–200 кГц на подложке из титана с использованием подложки в качестве нижнего электрода. В области высоких частот (20–200 кГц) среднеквадратичное отклонение емкости составило 95–97 пФ, низких частот (0,2–10,0 кГц) – 80–94 пФ. Значения емкости и тангенса угла диэлектрических потерь сохранялись в пределах установленных значений среднеквадратичного отклонения в течение года. Приведены примеры изображений микродисков и волноводов, полученных методами фотолитографии и химического травления структур c пленками Al₂O₃, SiO₂ и BaTiO₃ для последующих разработок планарных волноводов и электрооптических модуляторов.

1. Hironori, Hatono. Application of BaTiO3 Film Deposited by Aerosol Deposition to Decoupling Capacitor / Hironori Hatono, Tomokazu Ito, Akihiko Matsumura // Jpn. J. Appl. Phys. 2007. Vol. 46, No 10B. P. 6915– 6919. https://doi.org/10.1143/JJAP.46.6915.

2. Устройство разложения воды на кислород и водород электромагнитными полями: пат. Рос. Федерации № 2 645 504 С2 / Г. Л. Багич. Опубл. 21.02.2018.

3. Ferroelectric BaTiO3 Thin-Film Optical Waveguide Modulators / A. Petraru [et al.] // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 81. P. 1375–1377. https://doi.org/10.1063/1.1498151.

4. Huang, W. Sol-Gel Silica-on-Silicon Buried-Channel EDWAs / W. Huang, R. R. A. Syms // J. Light. Technol. 2003. Vol. 21, No 5. P. 1339–1349. https://doi.org/10.1109/JLT.2003.812417.

5. Optical Properties and Upconversion Luminescence of BaTiO3 Xerogel Structures Doped with Erbium and Ytterbium / E. I. Lashkovskaya [et al.] // Gels. 2022. Vol. 8. P. 347–361. https://doi.org/10.3390/gels8060347.

6. Vahala, K. J. Optical Microcavities / K. J. Vahala // Nature. 2003. Vol. 424. P. 839–846. https://doi.org/10.1038/nature01939.