Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ

Полный текст:

Аннотация

Исследовано влияние состава электролита и программируемых импульсно-реверсных режимов на скорость и равномерность формирования объемных серебряных выводов полупроводниковых приборов. Показано, что использование нестационарных режимов электролиза позволяет снизить их боковое разрастание и разновысотность по пластине, улучшить качественные характеристики изделий, увеличить количество приборов, получаемых на одной полупроводниковой пластине, и, тем самым, повысить производительность технологического процесса и обеспечить экономию драгметаллов.

Об авторах

А. А. Хмыль
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


И. И. Кузьмар
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Л. К. Кушнер
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Н. В. Богуш
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


М. М. Борисик
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Список литературы

1. Гаврилов С.А., Белов А.Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. М., 2009.

2. Спирин В.Г. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2005. № 2. С. 46-48.

3. Кудрявцев Н.Т. Электрохимические покрытия металлами. М., 1979.

4. Ажогин Ф.Ф., Беленький М.А., Галь И.Е. Гальванотехника. Справ. изд. М.,1987.

5. Хмыль А.А. Формирование тонкопленочных систем металлизации в нестационарных условиях электролиза. Дисс.. д-ра. техн. наук. Минск, 2001.

6. Хмыль А.А., Емельянов В.А., Мушовец И.И. и др. // Гальванотехника и обработка поверхности. 2001. № 9 (3). С. 26.

7. Хмыль А.А., Ануфриев Л.П., Кузьмар И.И. и др. // Изв. Белор.инж. акад. 2002. №1 (7)/2. С. 186-188.

8. Хмыль А.А., Кузьмар И.И., Кушнер Л.К. // Матер. Междунар. научн.-техн. конф. «Энерго- и ресурсосберегающие технологии и оборудование, экологически безопасные технологии». Минск, 24-26 ноября 2010 г. С. 328-331.

9. Кузьмар И.И. Формирование серебряных покрытий с упрочняющей фазой из ультрадисперсных алмазов. Дисс. … канд. техн. наук. Минск, 2003.


Для цитирования:


Хмыль А.А., Кузьмар И.И., Кушнер Л.К., Богуш Н.В., Борисик М.М., Завадский С.М. ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2013;(8):16-22.

For citation:


Khmyl A.A., Kuzmar I.I., Kushner L.K., Bogush N.V., Borisik M.M., Zavadski S.M. ELECTRODEPOSITION OF SOLDER BUMP TO SEMICONDUCTOR DEVICES. Doklady BGUIR. 2013;(8):16-22. (In Russ.)

Просмотров: 40


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)