ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ
Аннотация
Исследовано влияние состава электролита и программируемых импульсно-реверсных режимов на скорость и равномерность формирования объемных серебряных выводов полупроводниковых приборов. Показано, что использование нестационарных режимов электролиза позволяет снизить их боковое разрастание и разновысотность по пластине, улучшить качественные характеристики изделий, увеличить количество приборов, получаемых на одной полупроводниковой пластине, и, тем самым, повысить производительность технологического процесса и обеспечить экономию драгметаллов.
Об авторах
А. А. Хмыль
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
И. И. Кузьмар
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Л. К. Кушнер
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Н. В. Богуш
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
М. М. Борисик
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Гаврилов С.А., Белов А.Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. М., 2009.
2. Спирин В.Г. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2005. № 2. С. 46-48.
3. Кудрявцев Н.Т. Электрохимические покрытия металлами. М., 1979.
4. Ажогин Ф.Ф., Беленький М.А., Галь И.Е. Гальванотехника. Справ. изд. М.,1987.
5. Хмыль А.А. Формирование тонкопленочных систем металлизации в нестационарных условиях электролиза. Дисс.. д-ра. техн. наук. Минск, 2001.
6. Хмыль А.А., Емельянов В.А., Мушовец И.И. и др. // Гальванотехника и обработка поверхности. 2001. № 9 (3). С. 26.
7. Хмыль А.А., Ануфриев Л.П., Кузьмар И.И. и др. // Изв. Белор.инж. акад. 2002. №1 (7)/2. С. 186-188.
8. Хмыль А.А., Кузьмар И.И., Кушнер Л.К. // Матер. Междунар. научн.-техн. конф. «Энерго- и ресурсосберегающие технологии и оборудование, экологически безопасные технологии». Минск, 24-26 ноября 2010 г. С. 328-331.
9. Кузьмар И.И. Формирование серебряных покрытий с упрочняющей фазой из ультрадисперсных алмазов. Дисс. … канд. техн. наук. Минск, 2003.
Рецензия
Для цитирования:
Хмыль А.А., Кузьмар И.И., Кушнер Л.К., Богуш Н.В., Борисик М.М., Завадский С.М. ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2013;(8):16-22.
For citation:
Khmyl A.A., Kuzmar I.I., Kushner L.K., Bogush N.V., Borisik M.M., Zavadski S.M. ELECTRODEPOSITION OF SOLDER BUMP TO SEMICONDUCTOR DEVICES. Doklady BGUIR. 2013;(8):16-22. (In Russ.)
Просмотров: 3226
Послать статью по эл. почте 