Для цитирования:
Сенько С.Ф., Сенько А.С., Зеленин В.А. КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ КОНТРОЛЬ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ. Доклады БГУИР. 2018;(5):12-18.
For citation:
Sianko S.F., Sianko A.S., Zelenin V.A. Quantitative characterization of topographic defects of semiconductor silicon wafers. Doklady BGUIR. 2018;(5):12-18. (In Russ.)