Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Сенько С.Ф., Сенько А.С., Зеленин В.А. КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ КОНТРОЛЬ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ. Доклады БГУИР. 2018;(5):12-18.

For citation:


Sianko S.F., Sianko A.S., Zelenin V.A. Quantitative characterization of topographic defects of semiconductor silicon wafers. Doklady BGUIR. 2018;(5):12-18. (In Russ.)

Просмотров: 27


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)