Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ

Полный текст:

Аннотация

Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения.

Об авторах

М. В. Тумилович
Белорусский Государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Л. П. Пилиневич
Белорусский Государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


А. М. Тарайкович
ГНУ «Институт порошковой металлургии»
Беларусь


В. Е. Толстик
ГНУ «Институт порошковой металлургии»
Беларусь


Г. А. Шеко
ГНУ «Институт порошковой металлургии»
Беларусь


Список литературы

1. Добрего К.В., Жданок С.А. Физика фильтрационного горения газов. Минск: ИТМО НАН Беларуси, 2002. 203 c.

2. Hanamura K., Echigo R., Zhdanok S. Superadiabatic combustion in a porous medium // Int. J. Heat Mass Transfer. 1993. Vol. 36. № 13. P. 3201-3209.

3. Kaviani M. Principles of heat transfer in porous media. Springer-Verlag, 1995. Р 709.

4. Merzhanov A.G. Self-Propagating High-Temperature Synthesis: Twenty Years of Search and Findings // Proc. Combustion and Plasma Synthesis of High-Temperature Materials. VCH Publishers, 1990. Р. 1-53.

5. Такакура Т. Процессы получения функционально-градиентных материалов типа TiB2-Ni // Сборник Оасакского университета по обработке материалов. 1990. С. 234-236.


Для цитирования:


Тумилович М.В., Пилиневич Л.П., Тарайкович А.М., Толстик В.Е., Шеко Г.А. ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2017;(2):5-10.

For citation:


Tumilovich M.V., Pilinivich L.P., Taraykovich A.M., Tolstik V.E., Sheko G.A. Application of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipment. Doklady BGUIR. 2017;(2):5-10. (In Russ.)

Просмотров: 39


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)