ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
Аннотация
Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения.
Об авторах
М. В. Тумилович
Белорусский Государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Л. П. Пилиневич
Белорусский Государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. М. Тарайкович
ГНУ «Институт порошковой металлургии»
Беларусь
Беларусь
В. Е. Толстик
ГНУ «Институт порошковой металлургии»
Беларусь
Беларусь
Г. А. Шеко
ГНУ «Институт порошковой металлургии»
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Добрего К.В., Жданок С.А. Физика фильтрационного горения газов. Минск: ИТМО НАН Беларуси, 2002. 203 c.
2. Hanamura K., Echigo R., Zhdanok S. Superadiabatic combustion in a porous medium // Int. J. Heat Mass Transfer. 1993. Vol. 36. № 13. P. 3201-3209.
3. Kaviani M. Principles of heat transfer in porous media. Springer-Verlag, 1995. Р 709.
4. Merzhanov A.G. Self-Propagating High-Temperature Synthesis: Twenty Years of Search and Findings // Proc. Combustion and Plasma Synthesis of High-Temperature Materials. VCH Publishers, 1990. Р. 1-53.
5. Такакура Т. Процессы получения функционально-градиентных материалов типа TiB2-Ni // Сборник Оасакского университета по обработке материалов. 1990. С. 234-236.
Рецензия
Для цитирования:
Тумилович М.В., Пилиневич Л.П., Тарайкович А.М., Толстик В.Е., Шеко Г.А. ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2017;(2):5-10.
For citation:
Tumilovich M.V., Pilinivich L.P., Taraykovich A.M., Tolstik V.E., Sheko G.A. Application of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipment. Doklady BGUIR. 2017;(2):5-10. (In Russ.)
Просмотров: 3324
Послать статью по эл. почте 