bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-1072Research ArticleСтатьиПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ВАКУУМНЫХ ВСТАВОК ПЛАНШАЙБ ОБОРУДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯApplication of the method of self-extending high-temperature synthesis for receiving porous vacuum inserts of faceplates of electronic mechanical engineering equipmentТумиловичМ. В.TumilovichM. V.tumilovich@bsuir.byПилиневичЛ. П.PilinivichL. P.noemail@neicon.ruТарайковичА. М.TaraykovichA. M.noemail@neicon.ruТолстикВ. Е.TolstikV. E.noemail@neicon.ruШекоГ. А.ShekoG. A.noemail@neicon.ruБелорусский Государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarusian state university of informatics and radioelectronicsГНУ «Институт порошковой металлургии»SSI «Institute of powder metallurgy»20170306201902510Copyright © Тумилович М.В., Пилиневич Л.П., Тарайкович А.М., Толстик В.Е., Шеко Г.А., 20192019Тумилович М.В., Пилиневич Л.П., Тарайкович А.М., Толстик В.Е., Шеко Г.А.Tumilovich M.V., Pilinivich L.P., Taraykovich A.M., Tolstik V.E., Sheko G.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/1072

Приведены результаты исследования процесса получения методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза пористых вакуумных вставок планшайб, используемых при производстве полупроводниковых кремниевых пластин на предприятиях электронного машиностроения.

There are given the results of research the process of receiving by method of self-extending high-temperature synthesis of porous vacuum inserts of the faceplates used by production of semiconductor silicon plates at the enterprises of electronic mechanical engineering.

полупроводниковые кремниевые пластиныпорошковая металлургиясамораспространяющийся высокотемпературный синтезоксинитрид титанаsemiconductor silicon platespowder metallurgyself-extending high-temperature synthesisoxynitride of the titanReferencesДобрего К.В., Жданок С.А. Физика фильтрационного горения газов. Минск: ИТМО НАН Беларуси, 2002. 203 c.Добрего К.В., Жданок С.А. Физика фильтрационного горения газов. Минск: ИТМО НАН Беларуси, 2002. 203 c.Hanamura K., Echigo R., Zhdanok S. Superadiabatic combustion in a porous medium // Int. J. Heat Mass Transfer. 1993. Vol. 36. № 13. P. 3201-3209.Hanamura K., Echigo R., Zhdanok S. Superadiabatic combustion in a porous medium // Int. J. Heat Mass Transfer. 1993. Vol. 36. № 13. P. 3201-3209.Kaviani M. Principles of heat transfer in porous media. Springer-Verlag, 1995. Р 709.Kaviani M. Principles of heat transfer in porous media. Springer-Verlag, 1995. Р 709.Merzhanov A.G. Self-Propagating High-Temperature Synthesis: Twenty Years of Search and Findings // Proc. Combustion and Plasma Synthesis of High-Temperature Materials. VCH Publishers, 1990. Р. 1-53.Merzhanov A.G. Self-Propagating High-Temperature Synthesis: Twenty Years of Search and Findings // Proc. Combustion and Plasma Synthesis of High-Temperature Materials. VCH Publishers, 1990. Р. 1-53.Такакура Т. Процессы получения функционально-градиентных материалов типа TiB2-Ni // Сборник Оасакского университета по обработке материалов. 1990. С. 234-236.Такакура Т. Процессы получения функционально-градиентных материалов типа TiB2-Ni // Сборник Оасакского университета по обработке материалов. 1990. С. 234-236.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.