Сортировать по:
| Выпуск | Название | |
| Том 24, № 3 (2026) | Синтез пленок нитрида кремния с улучшенными механическими и химическими свойствами методом ICPCVD | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. С. Ковальчук, С. А. Демидович, Л. А. Власукова, И. Н. Пархоменко | ||
| "... к обработке в кислотных и щелочных травителях пленок SiNx, полученных методом плазменно активируемого ..." | ||
| Том 22, № 1 (2024) | Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. С. Ковальчук, С. А. Демидович, Л. А. Власукова, И. Н. Пархоменко | ||
| "... Исследованы остаточные механические напряжения в пленках SiNx, осажденных на кремниевые подложки ..." | ||
| № 4 (2016) | ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА КОМБИНИРОВАННЫМ МЕТОДОМ ГИДРОТЕРМАЛЬНОГО И ПОСЛОЙНОГО АТОМНОГО ОСАЖДЕНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Е. Б. Чубенко, В. П. Бондаренко, В. А. Пилипенко, К. .. Топалли, А. К. Окяй | ||
| "... Исследованы свойства и показана возможность получения тонких сплошных пленок оксида цинка ..." | ||
| Том 20, № 3 (2022) | Формирование и электрохимические свойства пленок оксидов никеля и кобальта | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| И. А. Греков, К. О. Янушкевич, Е. Б. Чубенко, В. П. Бондаренко | ||
| "... Методом электрохимического осаждения получены пленки оксида кобальта и оксида никеля на подложках ..." | ||
| № 4 (2017) | ДЕКОРИРОВАНИЕ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ НА ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Л. Ю. Рощин, А. В. Бондаренко | ||
| "... закономерностей формирования и изучению структурных и оптических свойств наноструктурированных пленок меди ..." | ||
| Том 22, № 4 (2024) | Фотоприемники ультрафиолетового диапазона на основе легированных алюминием и никелем пленок оксида цинка | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| И. А. Греков, К. О. Янушкевич, Е. Б. Чубенко, В. П. Бондаренко | ||
| "... Комбинированием методов золь-гель и гидротермального осаждения на стеклянных подложках получены ..." | ||
| № 8 (2015) | ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПРЯМЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ИОННЫХ ПУЧКОВ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Е. В. Телеш, А. П. Достанко, А. Ю. Вашуров | ||
| "... на оптические характеристики тонкопленочных покрытий из диоксида кремния, полученных прямым осаждением из ионных ..." | ||
| Том 18, № 2 (2020) | ФОРМИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОСАЖДЕННОГО ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ МЕТОДОМ ЛЕГИРОВАННОГО НИКЕЛЕМ ОКСИДА ЦИНКА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| К. О. Янушкевич, Е. Б. Чубенко, В. П. Бондаренко | ||
| "... и рамановского рассеяния. Осаждение пленок оксида цинка, легированных никелем, проводилось методом ..." | ||
| Том 22, № 2 (2024) | Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленок | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. П. Достанко, С. И. Мадвейко, Е. В. Телеш, С. Н. Мельников, С. М. Завадский, Д. А. Голосов | ||
| "... и нанесения тонких пленок. Рассмотрены применение импульсного реактивного магнетронного распыления для ..." | ||
| № 1 (2019) | ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ZnO+10 % ITO НА ПОДЛОЖКАХ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. И. Мухуров, С. В. Денисюк, А. Н. Чумаков, А. А. Шевченок, Л. В. Баран, А. Г. Кароза, Т. Ф. Райченок, Н. А. Босак, А. А. Иванов, Х. Чжан, Г. Ю | ||
| "... осаждении. Методом атомно-силовой микроскопии изучены морфологии пленок на пористой и беспористой ..." | ||
| Том 18, № 5 (2020) | Формирование электрохимическим методом композитных материалов на основе оксида цинка и меди | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. М. Ткачёнок, Е. Б. Чубенко, В. П. Бондаренко | ||
| "... Методом электрохимического осаждения на подложках из монокристаллического кремния получены ..." | ||
| № 5 (2016) | СИНТЕЗ, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ЭВТЕКТИЧЕСКОГО СОСТАВА СИСТЕМЫ GaSb-MnSb | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. Ф. Маренкин, О. А. Новодворский, В. В. Баранов, В. М. Трухан, Т. В. Шёлковая, А. М. Струц | ||
| "... Приведены результаты технологии получения и исследования электрических, магнитных свойств пленок ..." | ||
| Том 19, № 7 (2021) | Температурный коэффициент сопротивления легированных редкоземельными элементами наноструктурированных пленок кремния | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. С. Строгова | ||
| "... кремния. Установлены закономерности изменения полученных пленок и изменение температурного коэффициента ..." | ||
| № 1 (2012) | ОСОБЕННОСТИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ НИКЕЛЯ В МЕЗОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. Л. Долгий, С. Л. Прищепа, В. А. Петрович, В. П. Бондаренко | ||
| "... кремний проведено осаждение никеля. Исследована зависимость поверхностного потенциала мезопористого ..." | ||
| № 4 (2018) | ОСОБЕННОСТИ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКОВ ПРИ ВЫСОКОЧАСТОТНОМ МАГНЕТРОНОМ РАСПЫЛЕНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Д. Э. Окоджи, Д. А. Голосов | ||
| "... распределения толщины наносимых пленок при ВЧ магнетронном распылении, которая учитывает поток формирующихся ..." | ||
| Том 23, № 5 (2025) | Лазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроники | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. Н. Купо | ||
| "... Представлены результаты исследования лазерно-активированных процессов электрохимического осаждения ..." | ||
| Том 24, № 1 (2026) | Влияние технологических параметров осаждения диэлектрических слоев методом ICP CVD на поверхностные токи утечки в AlGaN/GaN HEMT | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. А. Демидович, А. Д. Юник, Н. С. Ковальчук, Я. А. Соловьёв | ||
| "... Исследовано влияние технологических параметров осаждения диэлектрических пассивирующих пленок ..." | ||
| Том 23, № 2 (2025) | Синтез пленочных сплавов кремний-германий на основе химически формируемых слоев пористого кремния | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. Л. Гревцов | ||
| "... Исследован процесс формирования пленок сплавов кремний-германий путем электрохимического ..." | ||
| Том 19, № 3 (2021) | Влияние отжига на структурно-фазовые и электрофизические свойства пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Т. К. То | ||
| "... отжига на свойства пленок оксида ванадия VOx, осажденных методом реактивного магнетронного ..." | ||
| Том 21, № 4 (2023) | Формирование алмазоподобных углеродных покрытий методом химического осаждения в плазме высокой плотности | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. В. Леонович, П. Д. Товт, Д. А. Котов | ||
| "... углеродного покрытия на подложках диаметром до 200 мм методом химического осаждения из газовой фазы ..." | ||
| № 5 (2019) | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен | ||
| "... В статье представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида титана ..." | ||
| Том 18, № 6 (2020) | Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос | ||
| "... на электрофизические характеристики пленок оксида ванадия, нанесенных методом импульсного реактивного магнетронного ..." | ||
| № 5 (2012) | ЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА АЛЮМИНИЯ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ПЛАНАРНЫХ МИКРОСТРУКТУРАХ НАНОФОТОНИКИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Л. С. Хорошко, Т. И. Ореховская, М. В. Меледина, И. А. Николаенко, А. C. Кочев, А. М. Ашариф, Б. С. Колосницын, Н. В. Гапоненко, А. В. Мудрый | ||
| "... , содержащего тербий, осажденный из растворов солей или в составе ксерогеля оксида алюминия, сформированного ..." | ||
| № 6 (2015) | ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ СЕЛЕНИДА ЦИНКА НА ПОРИСТОМ КРЕМНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. И. Левченко, Л. И. Постнова, Е. Л. Труханова, В. П. Бондаренко | ||
| "... качество пленок по сравнению с пленками, осажденными на монолитный кремний. ..." | ||
| № 3 (2014) | СТРУКТУРА И ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ АНОДНЫХ АЛЮМООКСИДНЫХ ПЛЕНОК, СФОРМИРОВАННЫХ В СЕРНОКИСЛОМ ЭЛЕКТРОЛИТЕ ВЫСОКОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. К. Лазарук, О. В. Купреева, В. Б. Высоцкий, А. И. Чевычелов, А. С. Летохо | ||
| "... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в сернокислом электролите высокой концентрации при ..." | ||
| № 7 (2014) | ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СОСТАВ ПОРИСТЫХ ПЛЕНОК АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЯХ ФОРМОВКИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Д. А. Сасинович, В. Б. Высоцкий, С. К. Лазарук | ||
| "... алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в 2 % водном растворе серной кислоты при различных ..." | ||
| № 5 (2017) | СТРУКТУРА И ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ СЕРЕБРО-ВОЛЬФРАМ, ПОЛУЧЕННЫХ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. В. Богуш, А. А. Хмыль, Л. К. Кушнер | ||
| "... Методом электрохимического осаждения получены композиционные вольфрамсодержащие покрытия на основе ..." | ||
| № 2 (2014) | МАТЕРИАЛЫ И КОМПОНЕНТЫ ЭЛЕКТРОННОЙ И СВЕРХПРОВОДНИКОВОЙ ТЕХНИКИ. ТЕХНОЛОГИЯ, СВОЙСТВА И ПРИМЕНЕНИЕ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Л. М. Лыньков, В. А. Богуш, Т. В. Борботько, Н. В. Насонова | ||
| "... методов формирования изоляционных слоев на основе оксидов тугоплавких металлов, осаждения пленок из СВЧ ..." | ||
| Том 22, № 6 (2024) | Емкостные свойства пленочных структур из графитоподобного нитрида углерода | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. Т. Фам, С. Е. Максимов, Е. А. Уткина, Е. Б. Чубенко, В. Е. Борисенко | ||
| "... Скоростным осаждением графитоподобного нитрида углерода (g-C3N4) из меламина на подложки ..." | ||
| Том 24, № 2 (2026) | Формирование и структура тонкопленочных покрытий Fe–Ni и Fe–Co для экранов электромагнитного излучения | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. Д. Гладинов, О. В. Бойправ, В. А. Богуш | ||
| "... осаждения на подложки из полимерных материалов покрытия из указанных сплавов 5 нм/с и более поверхностный ..." | ||
| № 7 (125) (2019): Спецвыпуск | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ С InGaZnO-ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМ СЛОЕМ ДЛЯ АКТИВНО-МАТРИЧНОЙ АДРЕСАЦИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Б. А. Казаркин, А. А. Степанов, Е. В. Муха, И. И. Захарченя, Е. А. Хохлов, А. Г. Смирнов | ||
| "... магнетронного плазмохимического осаждения. Исследованы их структурно- морфологические и электрофизические ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Лавинные светодиоды на основе наноструктурированного кремния для оптических межсоединений | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Ле Динь Ви, А. А. Лешок, А. В. Долбик, С. Л. Перко, С. К. Лазарук | ||
| "... , что температура подложки в процессе осаждения поверхностной нанокомпозитной пленки алюминий + кремний ..." | ||
| 1 - 32 из 32 результатов | ||
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)
