Для цитирования:

Окоджи Д.Э., Голосов Д.А. ОСОБЕННОСТИ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКОВ ПРИ ВЫСОКОЧАСТОТНОМ МАГНЕТРОНОМ РАСПЫЛЕНИИ. Доклады БГУИР. 2018;(4):87-93.

For citation:

Okojie J.E., Golosov D.A. Deposition features of ferroelectric thin films at high-frequency magnetron sputtering. Doklady BGUIR. 2018;(4):87-93. (In Russ.)