Для цитирования:

Ковальчук Н.С., Демидович С.А., Власукова Л.А., Пархоменко И.Н. Управление механическими напряжениями в пленках SiN_x при осаждении из смеси SiH₄-NH₃-He в индуктивно-связанной плазме. Доклады БГУИР. 2024;22(1):5-12. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-1-5-12

For citation:

Koval’chuk N.S., Demidovich S.A., Vlasukova L.A., Parkhomenko I.N. Deposition of SiN_x Films with Controlled Residual Stress from SiH₄-NH₃-He Gaseous Mixture in Inductively Coupled Plasma. Doklady BGUIR. 2024;22(1):5-12. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-1-5-12