Для цитирования:
Леонович Н.В., Товт П.Д., Котов Д.А. Формирование алмазоподобных углеродных покрытий методом химического осаждения в плазме высокой плотности. Доклады БГУИР. 2023;21(4):33-39. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-33-39
For citation:
Leonovich N.V., Tovt P.D., Kotov D.A. Formation of Diamond-Like Carbon Coatings by Chemical Deposition in High Density Plasma. Doklady BGUIR. 2023;21(4):33-39. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-33-39