Сортировать по:
| Выпуск | Название | |
| Том 21, № 3 (2023) | Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Х. Т. Доан, Д. А. Голосов, Дж. Джанг, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Т. Д. Нгуен | ||
| "... сложных оксидов, наносимых методом реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени ..." | ||
| Том 23, № 2 (2025) | Влияние легирования цирконием на диэлектрические свойства пленок оксида гафния | Аннотация похожие документы |
| Д. А. Голосов, Дж. Джанг, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Х. Т. Доан, П. А. Александрович | ||
| "... оксидов гафния и гафния-циркония. Показано, что импульсным реактивным магнетронным распылением Hf-мишени ..." | ||
| № 4 (2018) | ОСОБЕННОСТИ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКОВ ПРИ ВЫСОКОЧАСТОТНОМ МАГНЕТРОНОМ РАСПЫЛЕНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Д. Э. Окоджи, Д. А. Голосов | ||
| "... газов. Установлено, что при распылении SBT и SBTN мишеней в центре зоны распыления скорость нанесения ..." | ||
| № 5 (2019) | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен | ||
| "... , нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti мишени в Ar/O2 смеси газов. Установлены ..." | ||
| Том 18, № 6 (2020) | Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос | ||
| "... распыления ванадиевоaй мишени в среде Ar/O2 рабочих газов. Получены зависимости напряжения разряда ..." | ||
| Том 19, № 3 (2021) | Влияние отжига на структурно-фазовые и электрофизические свойства пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Т. К. То | ||
| "... распыления V мишени в Ar/O2 смеси газов. Получены зависимости структуры, фазового состава, температурного ..." | ||
| Том 19, № 4 (2021) | Формирование и исследование характеристик терморезистивных структур на основе пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Н. К. Толочко | ||
| "... Исследованы процессы реактивного магнетронного распыления V мишени в среде Ar/O2 газов ..." | ||
| Том 22, № 2 (2024) | Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленок | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. П. Достанко, С. И. Мадвейко, Е. В. Телеш, С. Н. Мельников, С. М. Завадский, Д. А. Голосов | ||
| "... и нанесения тонких пленок. Рассмотрены применение импульсного реактивного магнетронного распыления для ..." | ||
| Том 21, № 2 (2023) | Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO2(Ag) после импульсного лазерного облучения | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. Л. Прокопьев, П. И. Гайдук | ||
| "... распылением мишени Sn + Ag, окислением слоев Sn0,65Ag0,35 при температуре 650 °С в течение 30 мин ..." | ||
| № 8 (2018) | НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин, К. Л. Хрусталев | ||
| "... синтеза диэлектрических пленок реактивным катодным распылением [1]. Целью исследования является ..." | ||
| № 5 (2015) | ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| М. В. Ермоленко, А. П. Достанко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский | ||
| "... реактивного магнетронного и реактивного ионно-лучевого распыления. Установлены зависимости показателя ..." | ||
| № 7 (125) (2019): Спецвыпуск | ВАКУУМНАЯ ЛИНЕЙНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ГИДРОФОБНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА СЕНСОРНЫЕ ДИСПЛЕИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. С. Мысливец, П. А. Розель, E. А. Хохлов | ||
| "... реактивного распыления в режиме переменного тока с частотой 20 кГц. Данный метод позволяет использовать ..." | ||
| Том 19, № 1 (2021) | Исследование процесса реактивного ионно-лучевого распыления арсенида галлия с использованием оптической эмиссионной спектроскопии | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Е. В. Телеш | ||
| "... эВ. Мишень была изготовлена из арсенида галлия, легированного теллуром. При распылении GaAs ионами ..." | ||
| № 1 (2018) | ФОТОТОК В СТРУКТУРАХ КРЕМНИЙ/ТИТАНАТ СТРОНЦИЯ/НИКЕЛЬ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| П. А. Холов, Н. В. Гапоненко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, В. А. Иванов, В. В. Колос, Б. С. Колосницын | ||
| "... распыления сформированы верхние электроды из никеля и измерены вольт-амперные характеристики сформированных ..." | ||
| Том 18, № 4 (2020) | Структура и морфология слоев CrSi2, сформированных при быстрой термообработке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко, Пётр Иванович Гайдук | ||
| "... . Пленки хрома толщиной порядка 30 нм наносили магнетронным распылением хромовой мишени ионами аргона ..." | ||
| Том 18, № 2 (2020) | ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕННЫХ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА МИКРОСТРУКТУРУ СИСТЕМЫ Pt-Si | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Горушко | ||
| "... (111) путем магнетронного распыления мишени из платины с чистотой 99,95 % на установке МРС 603 ..." | ||
| № 7-8 (2019) | ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ХРОМА НА КРЕМНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Я. А. Соловьев, В. А. Пилипенко | ||
| "... . Пленки хрома толщиной порядка 30 нм наносили магнетронным распылением на поверхность кремниевых подложек ..." | ||
| Том 18, № 1 (2020) | ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НИКЕЛЯ НА КРЕМНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко | ||
| "... до 550 °С. Пленки никеля толщиной порядка 60 нм наносили магнетронным распылением на кремниевые подложки ..." | ||
| Том 18, № 3 (2020) | Электронно-микроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. A. Горушко | ||
| "... магнетронного распыления мишени из платины с чистотой 99,95 % на установке МРС 603 с криогенной откачкой ..." | ||
| 1 - 19 из 19 результатов | ||
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)
