Для цитирования:

Соловьёв Я.А., Пилипенко В.А. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НИКЕЛЯ НА КРЕМНИИ. Доклады БГУИР. 2020;18(1):81-88. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-1-81-88

For citation:

Solovjov J.A., Pilipenko V.A. EFFECT OF RAPID THERMAL TREATMENT ТЕMPERATURE ON ELECTROPHYSICAL PROPERTIES OF NICKEL FILMS ON SILICON. Doklady BGUIR. 2020;18(1):81-88. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-1-81-88