Для цитирования:

Телеш Е.В. Исследование процесса реактивного ионно-лучевого распыления арсенида галлия с использованием оптической эмиссионной спектроскопии. Доклады БГУИР. 2021;19(1):5-10. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-1-5-10

For citation:

Тelesh E.V. Investigation of the process of reactive ion-beam sputtering of gallium arsenide using optical emission spectroscopy. Doklady BGUIR. 2021;19(1):5-10. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-1-5-10