ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Аннотация
Исследованы оптические характеристики тонких пленок нитрида алюминия, нанесенных методами реактивного магнетронного и реактивного ионно-лучевого распыления. Установлены зависимости показателя преломления и коэффициента поглощения пленок от процентного содержания азота в смеси рабочих газов. Выявлено, что метод реактивного магнетронного распыления позволяет наносить слои нитрида алюминия с более низким коэффициентом поглощения, чем метод реактивного ионно-лучевого распыления и с коэффициентом преломления близким к значению объемного образца.
Об авторах
М. В. Ермоленко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. П. Достанко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. А. Голосов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Жиляков Л.А., Костановский А.В. // 1992. Т. 30, вып. 2. С. 290-293.
Рецензия
Для цитирования:
Ермоленко М.В., Достанко А.П., Голосов Д.А., Завадский С.М. ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(5):119-121.
For citation:
Ermolenko M.V., Dostanko A.P., Golosov D.A., Zavadskiy S.M. OPTICAL CHARACTERISTICS OF ALN THIN FILMS DEPOSITED BY DC MAGNETRON AND ION-BEAM SPUTTERING STUDY. Doklady BGUIR. 2015;(5):119-121. (In Russ.)
Просмотров: 2498
Послать статью по эл. почте 