Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Полный текст:

Аннотация

Исследованы оптические характеристики тонких пленок нитрида алюминия, нанесенных методами реактивного магнетронного и реактивного ионно-лучевого распыления. Установлены зависимости показателя преломления и коэффициента поглощения пленок от процентного содержания азота в смеси рабочих газов. Выявлено, что метод реактивного магнетронного распыления позволяет наносить слои нитрида алюминия с более низким коэффициентом поглощения, чем метод реактивного ионно-лучевого распыления и с коэффициентом преломления близким к значению объемного образца.

Об авторах

М. В. Ермоленко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


А. П. Достанко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Д. А. Голосов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Список литературы

1. Жиляков Л.А., Костановский А.В. // 1992. Т. 30, вып. 2. С. 290-293.


Для цитирования:


Ермоленко М.В., Достанко А.П., Голосов Д.А., Завадский С.М. ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(5):119-121.

For citation:


Ermolenko M.V., Dostanko A.P., Golosov D.A., Zavadskiy S.M. OPTICAL CHARACTERISTICS OF ALN THIN FILMS DEPOSITED BY DC MAGNETRON AND ION-BEAM SPUTTERING STUDY. Doklady BGUIR. 2015;(5):119-121. (In Russ.)

Просмотров: 59


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)