Для цитирования:
Ермоленко М.В., Достанко А.П., Голосов Д.А., Завадский С.М. ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(5):119-121.
For citation:
Ermolenko M.V., Dostanko A.P., Golosov D.A., Zavadskiy S.M. OPTICAL CHARACTERISTICS OF ALN THIN FILMS DEPOSITED BY DC MAGNETRON AND ION-BEAM SPUTTERING STUDY. Doklady BGUIR. 2015;(5):119-121. (In Russ.)