Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Ермоленко М.В., Достанко А.П., Голосов Д.А., Завадский С.М. ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(5):119-121.

For citation:


Ermolenko M.V., Dostanko A.P., Golosov D.A., Zavadskiy S.M. OPTICAL CHARACTERISTICS OF ALN THIN FILMS DEPOSITED BY DC MAGNETRON AND ION-BEAM SPUTTERING STUDY. Doklady BGUIR. 2015;(5):119-121. (In Russ.)

Просмотров: 138


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)