Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ВАКУУМНАЯ ЛИНЕЙНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ГИДРОФОБНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА СЕНСОРНЫЕ ДИСПЛЕИ

https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-125-7-74-80

Полный текст:

Аннотация

Целью работы является разработка вакуумного технологического оборудования для напыления интерференционного просветляющего покрытия с последующим нанесением гидрофобного защитного слоя в едином вакуумном цикле. Для напыления интерференционного просветляющего покрытия используется метод магнетронного реактивного распыления в режиме переменного тока с частотой 20 кГц. Данный метод позволяет использовать широкий спектр распыляемых материалов и получать стабильные и качественные покрытия на различных подложках. Для определения оптических характеристик использовали спектрофотометр, которым оценивали коэффициенты пропускания и отражения в видимой области спектра электромагнитного излучения. Для проверки физических характеристик гидрофобного покрытия использовали тест на истирание покрытия металлической ватой с нагрузкой 1 кг/см2. Новизной представленного метода является совмещение жидкофазного метода нанесения покрытий совместно с физическим распылением в вакууме без разрыва технологического процесса. Данный метод позволяет добиться увеличения производительности и выхода годных деталей, так как уменьшается количество операций на многоступенчатом этапе производства сенсорного дисплея. После разработки и настройки линейного вакуумного оборудования Aurora G5 был получен стабильный и воспроизводимый технологический процесс получения гидрофобных просветляющих покрытий на большие площади с высокой производительностью. Получено просветляющее покрытие со средним коэффициентом отражения менее 0,6 % в диапазоне длин волн 400 до 700 нм. Проверка адгезии показала 0 класс согласно классификации ISO. Полученные покрытия имеют высокие твердость >9H и стойкость к истиранию >5000 циклов. Итогом данной разработки и исследования является внедрение вакуумного технологического оборудования в производственный процесс изготовления просветляющих гидрофобных покрытий на сенсорные дисплеи.

Об авторах

А. С. Мысливец
ООО ИЗОВАК
Беларусь

Мысливец Александр Сергеевич, начальник отдела тонкопленочных технологий компании

220075, Республика Беларусь, г. Минск, ул. М. Богдановича, д. 155-907

тел. +375-25-674-97-17



П. А. Розель
ООО ИЗОВАК
Беларусь

Руководитель проектов НИОКР компании

220075, Республика Беларусь, г. Минск, ул. М. Богдановича, д. 155-907

тел. +375-25-674-97-17



E. А. Хохлов
ООО ИЗОВАК
Беларусь

Руководитель департамента разработок компании

220075, Республика Беларусь, г. Минск, ул. М. Богдановича, д. 155-907

тел. +375-25-674-97-17



Список литературы

1. Хохлов Е.А., Мысливец А.С., Смирнов А.Г. Формирование непрозрачного диэлектрического декоративного покрытия для сенсорных дисплеев. Доклады БГУИР. 2014; 8 (86).

2. Хохлов Е.А., Войнилович А.Г., Смирнов А.Г. Свойства пленок ZnO и ZnO:AI, перспективных для прозрачных электродов. Доклады БГУИР. 2008; 5 (35).

3. Frach P., Gloess D., Goschurny T., Drescher A., Hartung U., Bartzsch H., Heising A., Grune H, Leischnig L., Leischnig S. Large area precision optical coatings by pulse magnetron sputtering. Proc. SPIE. 2017: 10181.

4. Donald M.M. Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing Flim Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination control. New Mexico: Society of Vacuum Coaters Albuquerque; 1998.


Для цитирования:


Мысливец А.С., Розель П.А., Хохлов E.А. ВАКУУМНАЯ ЛИНЕЙНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ГИДРОФОБНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА СЕНСОРНЫЕ ДИСПЛЕИ. Доклады БГУИР. 2019;(7 (125)):74-80. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-125-7-74-80

For citation:


Myslivets A.S., Rozel P.A., Khakhlov E.A. IN-LINE SPUTTERING COATER OF HYDROPHOBIC ANTIREFLECTION COATING FOR SENSOR DISPLAYS. Doklady BGUIR. 2019;(7 (125)):74-80. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-125-7-74-80

Просмотров: 40


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)