Выпуск | Название | |
№ 5 (2015) | ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СЛОЕВ AlN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО И ИОННО-ЛУЧЕВОГО РАСПЫЛЕНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
М. В. Ермоленко, А. П. Достанко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский | ||
"... that reactive magnetron sputtering allows the formation of AlN layers with a lower absorption coefficient than ..." | ||
Том 21, № 3 (2023) | Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Х. Т. Доан, Д. А. Голосов, Дж. Джанг, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Т. Д. Нгуен | ||
"... deposited by reactive magnetron sputtering of a two-component composite target in Ar/O2 gas mixture ..." | ||
№ 5 (2019) | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен | ||
"... films deposited by reactive magnetron sputtering of a Ti target in an Ar/O2 gas mixture. Dependencies ..." | ||
Том 18, № 6 (2020) | Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос | ||
"... on the electrophysical properties of vanadium oxide films deposited by pulsed reactive magnetron sputtering of a vanadium ..." | ||
Том 22, № 2 (2024) | Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленок | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. П. Достанко, С. И. Мадвейко, Е. В. Телеш, С. Н. Мельников, С. М. Завадский, Д. А. Голосов | ||
"... processing and thin film deposition. Application of pulsed reactive magnetron sputtering for deposition ..." | ||
№ 8 (2018) | НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин, К. Л. Хрусталев | ||
"... The article investigates a low-temperature plasma of the magnetron discharge of a device used ..." | ||
Том 19, № 4 (2021) | Формирование и исследование характеристик терморезистивных структур на основе пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Н. К. Толочко | ||
"... The processes of reactive magnetron sputtering of a V target in Ar/O2 gas mixture are investigated ..." | ||
Том 19, № 3 (2021) | Влияние отжига на структурно-фазовые и электрофизические свойства пленок оксида ванадия | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Т. Д. Нгуен, А. И. Занько, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, В. В. Колос, Т. К. То | ||
"... and subsequent annealing on the properties of vanadium oxide VOx films deposited by the pulsed reactive magnetron ..." | ||
№ 7 (125) (2019): Спецвыпуск | ВАКУУМНАЯ ЛИНЕЙНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ГИДРОФОБНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА СЕНСОРНЫЕ ДИСПЛЕИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. С. Мысливец, П. А. Розель, E. А. Хохлов | ||
"... . To deposition an interference antireflection coating, the method of magnetron reactive sputtering ..." | ||
№ 4 (2018) | ОСОБЕННОСТИ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКОВ ПРИ ВЫСОКОЧАСТОТНОМ МАГНЕТРОНОМ РАСПЫЛЕНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Д. Э. Окоджи, Д. А. Голосов | ||
"... Получены профили распределения скорости нанесения при высокочастотном (ВЧ) магнетронном распылении ..." | ||
Том 19, № 1 (2021) | Исследование процесса реактивного ионно-лучевого распыления арсенида галлия с использованием оптической эмиссионной спектроскопии | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Е. В. Телеш | ||
"... The aim of this work was to study the process of reactive ion-beam sputtering of gallium arsenide ..." | ||
Том 21, № 2 (2023) | Чувствительность к метану нанокомпозитных слоев SnO2(Ag) после импульсного лазерного облучения | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
С. Л. Прокопьев, П. И. Гайдук | ||
"... This paper reports on the gas sensitivity of SnO2(Ag) layers, consequently formed by magnetron ..." | ||
№ 1 (2018) | ФОТОТОК В СТРУКТУРАХ КРЕМНИЙ/ТИТАНАТ СТРОНЦИЯ/НИКЕЛЬ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
П. А. Холов, Н. В. Гапоненко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, В. А. Иванов, В. В. Колос, Б. С. Колосницын | ||
"... fabricated using the magnetron sputtering, and the volt-amperic characteristics of the obtained structures ..." | ||
№ 1 (2016) | INFLUENCE OF PLASMA NITRIDING ON SURFACE ROUGHNESS OF STEELS | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
, | ||
№ 1 (2013) | АНАЛИЗ РАБОТЫ САМОСИНХРОНИЗИРОВАННОГО МАГНЕТРОНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Осипов, С. А. Шостак | ||
"... Simplified analysis of auto synchronized magnetron behavior that based on vector representation ..." | ||
№ 7-8 (2019) | ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ХРОМА НА КРЕМНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Я. А. Соловьев, В. А. Пилипенко | ||
"... and contact properties of the interface. Chromium films of about 30 nm thickness were deposited by magnetron ..." | ||
Том 18, № 4 (2020) | Структура и морфология слоев CrSi2, сформированных при быстрой термообработке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко, Пётр Иванович Гайдук | ||
"... 30 nm thickness were deposited by magnetron sputtering of a chromium target with argon ions onto ..." | ||
Том 18, № 2 (2020) | ВЛИЯНИЕ ВРЕМЕННЫХ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА МИКРОСТРУКТУРУ СИСТЕМЫ Pt-Si | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. А. Горушко | ||
"... -crystal silicon KEF 0.5 with orientation (111) by means of the magnetron platinum target sputtering ..." | ||
Том 18, № 1 (2020) | ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ БЫСТРОЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НИКЕЛЯ НА КРЕМНИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Я. А. Соловьёв, В. А. Пилипенко | ||
"... in the temperatures range from 200 to 550 °C. Nickel films of about 60 nm thickness were deposited by magnetron ..." | ||
№ 5 (2012) | СТРУКТУРА, МОРФОЛОГИЯ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПРОЗРАЧНЫХ НАНОСЕТЧАТЫХ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. А. Степанов, А. С. Смирнов | ||
"... by electrochemical anodization of aluminum deposited by magnetron sputtering on a glass substrate. The process ..." | ||
Том 20, № 5 (2022) | Анодная композиционная наноструктура: формирование, морфология, оптические и фотолюминесцентные свойства | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. В. Гога, А. А. Позняк, С. М. Завадский, Д. А. Голосов, А. Н. Плиговка | ||
"... Two-layer Al/Nb (1000/200 nm) was deposited by sputtering using a DC magnetron method on Si wafers ..." | ||
№ 1 (2018) | РЕГРЕССИОННЫЕ УРАВНЕНИЯ СВЯЗИ ВНУТРИКЛЕТОЧНОЙ ЖИДКОСТИ БИОЛОГИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ С ИХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Н. З. Башун, А. М. Жарнов, О. А. Жарнова | ||
Том 20, № 3 (2022) | Расчет высоты и времени срабатывания устройства инициализации реактивного снаряда | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
С. С. Солонович, И. И. Забеньков, Д. В. Архипенков | ||
"... срабатывания устройства инициализации реактивного снаряда на заданной высоте, а также способа его структурной ..." | ||
Том 18, № 3 (2020) | Электронно-микроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Ф. Ф. Комаров, В. A. Горушко | ||
"... silicon by means of the magnetronic sputtering of platinum with the purity of 99.95 % on the МРС 603 set ..." | ||
№ 6 (2018) | ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ МОБИЛЬНЫХ АНТЕНН ВЧ ДИАПАЗОНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Н. И. Листопад, Д. А. Ковалевич | ||
"... . Проведен анализ входного активного и реактивного сопротивлений антенн, а также коэффициента стоячей волны в ..." | ||
Том 19, № 3 (2021) | Способ автоматического согласования антенны и выходных каскадов передатчика | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Д. А. Ковалевич | ||
"... реактивных элементов. Произведена классификация наиболее часто используемых способов автоматического ..." | ||
№ 7 (125) (2019): Спецвыпуск | АММИАЧНАЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ПУЧКОВАЯ ЭПИТАКСИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР AlGaN НА ПОДЛОЖКАХ САПФИРА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Н. В. Ржеуцкий, Я. А. Соловьев, А. Г. Войнилович, И. Е. Свитенков, А. Н. Петлицкий, Д. В. Жигулин, Е. В. Луценко | ||
"... of different molecular beam epitaxy growth conditions on the properties of AlN and AlGaN layers was studied ..." | ||
№ 7 (125) (2019): Спецвыпуск | ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ С InGaZnO-ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМ СЛОЕМ ДЛЯ АКТИВНО-МАТРИЧНОЙ АДРЕСАЦИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Б. А. Казаркин, А. А. Степанов, Е. В. Муха, И. И. Захарченя, Е. А. Хохлов, А. Г. Смирнов | ||
"... semiconductor compound (IGZO) for active-matrix displays addressing formed by magnetron plasma-chemical ..." | ||
№ 8 (2015) | АНАЛИЗ УСЛОВИЙ ВОЗБУЖДЕНИЯ СВЧ-РАЗРЯДА НИЗКОГО ВАКУУМА В ПЛАЗМОТРОНЕ РЕЗОНАТОРНОГО ТИПА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
С. И. Мадвейко, С. В. Бордусов, М. С. Лушакова | ||
"... resonator Q ≈ 200, the value E0 ≈ 110 V/cm can be provided with using microwave magnetron of medium power ..." | ||
№ 6 (2015) | УВЕЛИЧЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ИМПУЛЬСА В МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭНЕРГИЮ ГОРЕНИЯ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. В. Долбик, А. Ю. Зубов, С. Н. Крисевич, А. С. Сычевич, А. В. Короткевич, С. К. Лазарук, В. А. Лабунов | ||
"... микроэлектромеханических систем с реактивной тягой. Исследования показали, что механический импульс микросистемы с ..." | ||
Том 19, № 1 (2021) | Способ анализа структуры и свойств регенерированных полимерных волокнистых фильтроматериалов для тонкой очистки воздуха | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. Г. Кравцов, М. В. Тумилович, Л. П. Пилиневич | ||
"... гранулята в экструдере, аэродинамического распыления расплава и формирования волокнисто-пористого слоя на ..." | ||
Том 20, № 7 (2022) | Использование лазерной интерферометрии для определения времени окончания плазмохимического травления слоев p-GaN и AlGaN гетероструктуры p-GaN/AlGaN/GaN с двумерным электронным газом | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. Д. Юник, А. Г. Шидловский | ||
"... с рабочей частотой 670 нм в процессе реактивного ионного травления в индуктивно-связанной плазме в ..." | ||
Том 18, № 5 (2020) | Анализ шумовых характеристик диодного генератора в многоконтурной системе | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. Я. Бельский, С. М. Сацук, В. Н. Путилин | ||
"... конструкции генераторов могут входить ряд реактивных элементов, которые в диапазоне СВЧ формируют ряд ..." | ||
Том 18, № 4 (2020) | Методика определения структуры и параметров многополосных согласующих цепей на основе внутриполостного комплексного критерия соответствия идеальному фильтру | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. Н. Шашок, А. С. Коноплицкий | ||
"... реактивных сопротивлений. Приводится пример использования предложенной методики для решения задачи ..." | ||
1 - 34 из 34 результатов |
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)