Для цитирования:

Соловьёв Я.А., Пилипенко В.А., Гайдук П.И. Структура и морфология слоев CrSi₂, сформированных при быстрой термообработке. Доклады БГУИР. 2020;18(4):71-79. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-4-71-79

For citation:

Solovjov J.A., Pillipenko V.A., Gaiduk P.I. Structure and morphology of CrSi₂ layers formed by rapid thermal treatment. Doklady BGUIR. 2020;18(4):71-79. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2020-18-4-71-79