Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Доан Х.Т., Голосов Д.А., Джанг Д., Завадский С.М., Мельников С.Н., Нгуен Т.Д. Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени. Доклады БГУИР. 2023;21(3):17-25. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-3-17-25

For citation:


Doan H.T., Golosov D.A., Zhang J., Zavadski S.M., Melnikov S.N., Nguyen T.D. Model of Reactive Magnetron Sputtering of a Two-Component Composite Target. Doklady BGUIR. 2023;21(3):17-25. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-3-17-25

Просмотров: 154


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)