СТРУКТУРА ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ, ФОРМИРУЮЩЕГОСЯ В СИСТЕМЕ Mo-Si ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ Р+ ЧЕРЕЗ ПЛЕНКУ МОЛИБДЕНА
Аннотация
Рассмотрены вопросы влияния дозы легирования Si(111) ионами фосфора, влияния постимплантационного отжига легированного Si и отжига системы Mo-Si, а также облучения ионами фосфора сформированных омических контактов системы Mo-Si и низкотемпературной термообработки на структуру и фазовый состав переходного слоя.
Для цитирования:
Снитовский Ю.П., Ходарина Л.П. СТРУКТУРА ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ, ФОРМИРУЮЩЕГОСЯ В СИСТЕМЕ Mo-Si ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ Р+ ЧЕРЕЗ ПЛЕНКУ МОЛИБДЕНА. Доклады БГУИР. 2017;(1):5-12.
For citation:
Snitovsky Yu.P., Khodarina L.P. Structure of transitional layer forming in Mo-Si system by P+ ion implantation over molybdenum film. Doklady BGUIR. 2017;(1):5-12. (In Russ.)
Просмотров: 368
Послать статью по эл. почте 