Для цитирования:
Снитовский Ю.П., Ходарина Л.П. СТРУКТУРА ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ, ФОРМИРУЮЩЕГОСЯ В СИСТЕМЕ Mo-Si ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ Р+ ЧЕРЕЗ ПЛЕНКУ МОЛИБДЕНА. Доклады БГУИР. 2017;(1):5-12.
For citation:
Snitovsky Yu.P., Khodarina L.P. Structure of transitional layer forming in Mo-Si system by P+ ion implantation over molybdenum film. Doklady BGUIR. 2017;(1):5-12. (In Russ.)