ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ

В. А. Сокол; С. А. Костюченко

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ

В. А. Сокол, С. А. Костюченко

Полный текст:

PDF (Rus) |

сгенерировать QR код

Аннотация

Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и наноэлектронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристальных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для гибридных интегральных схем и сверхбольших интегральных схем. Представлены результаты работ по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса.

Ключевые слова

анодирование, алюминий, пористый оксид алюминия, наноэлектронные устройства

Список литературы

1. Сокол В.А. Способ создания двухслойной планарной металлизациии / Авторское свидетельство СССР.

2. Сокол В.А. Способ создания многоуровневых планарных структур интегральных микросхем / Авторское свидетельство СССР № 701404.

3. Сокол В.А. Электрохимическая ячейка для анодирования металлических пленок на диэлектрических подложках / Авторское свидетельство СССР № 669767

4. Сокол В.А. Интегральная схема / Авторское свидетельство СССР № 685068.

5. Сокол В.А. Интегральная микросхема / Авторское свидетельство СССР № 683527.

6. Сокол В.А. Способ создания многоуровневой планарной металлизации / Авторское свидетельство СССР № 784634.

7. Сокол В.А. Способ создания многоуровневой металлизации / Авторское свидетельство СССР № 766737.

8. Сокол В.А. Способ изготовления гибридной интегральной микросхемы / Авторское свидетельство СССР № 904481.

9. Сокол В.А. Способ изготовления гибридной интегральной микросхемы / Авторское свидетельство СССР № 880194.

10. Сокол В.А. Способ изготовления алюминиевой подложки для гибридной интегральной микросхемы / Авторское свидетельство СССР № 967253.

11. Сокол В.А. Интегральная микросхема / Авторское свидетельство СССР № 976814.

12. Сокол В.А. Способ изготовления многослойной печатной обмотки / Авторское свидетельство СССР № 964881.

13. Сокол В.А., Костюченко С.А. // Вопросы оборонной техники. Сб. № 35. Сер. 22. 1982.

14. Сокол В.А. Электролит для анодирования металлов / Авторское свидетельство СССР № 1080521.

15. Сокол В.А. Способ создания многоуровневой металлизации / Авторское свидетельство СССР № 1080824.

16. Сокол В.А., Костюченко С.А. // Спецтехника средств связи. Сер. ТПО (ДСП). 1983.

17. Сокол В.А. Способ формирования многоуровневой системы межсоединений на металлической подложке / Авторское свидетельство СССР № 1209012.

18. Сокол В.А. Способ создания многоуровневой металлизации / Авторское свидетельство СССР № 1373236.

19. Сокол В.А. Способ изготовления гибридных интегральных микросхем / Авторское свидетельство СССР № 1445547.

20. Сокол В.А. Способ изготовления алюминиевых подложек / Авторское свидетельство СССР № 1442057.

21. Сокол В.А. Способ создания многоуровневой металлизации / Авторское свидетельство СССР № 1436772.

22. Сокол В.А., Короткевич А.В., Костюченко С.А. Способ изготовления алюминиевых подложек / Авторское свидетельство СССР № 1530074.

23. Сокол В.А. Способ изготовления резистивно-проводниковой микроплаты / Авторское свидетельство СССР № 1609388.

24. Сокол В.А. Способ формирования двухуровневой металлизации / Авторское свидетельство СССР № 1679910.

25. Sokol V. Process for making multilevel interconnections of electronic components / Патент США № 5580825.

26. Sokol V. and coauthors // Appl. Phys.A., Materials Sci. and Processing. 1998. Vol. 67. P. 487-492.

27. Sokol V. Method of making multilevel interconnections of electronic parts / Патент США US5880021.

28. Sokol V. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. 1999. B 147. P. 332-336.

29. Sokol V. Multilevel interconnections of electronic components / Патент США US6069070.

30. Sokol V. // Micro Materials'2000. P. 54.

31. Sokol V. // Technische Universitat Chemnitz. 2001. P. 237-240.

32. Сокол В.А. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2002. № 2. С. 40-45.

33. Сокол В.А. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2003. № 2. С. 40-41.

34. Sokol V. and coauthors // Applied Surface Science. 2004. P. 215-225.

35. Сокол В.А. Способ изготовления резистивно-коммутационной тонкопленочной интегральной микросхемы / Патент РБ № 6613.

36. Сокол В.А. Устройство для получения диэлектрических подложек методом анодирования / Патент РБ № 6461.

37. Сокол В.А. Трехэлектродный активный элемент и способ его изготовления / Патент РБ № 7431.

38. Сокол В.А. Способ изготовления многоуровневой системы микроэлектронных межсоединений на основе алюминия и его анодных оксидов / Патент РБ № 17099.

39. Vryblevsky I., Parkoun V., Sokol V. et. al.// Applied Surface Science. 2005. Vol. 252. № 1. P. 227-233.

40. Sokol V. and coauthors // Zonal of the University of Applied Science Mittweida. 2005. № 11. P. 38-41.

41. Сокол В.А. Электрохимическая технология гибридных интегральных микросхем. Минск, 2004.

42. Сокол В.А., Гомолко П.В. // Докл. БГУИР. 2005. № 2 (10). С. 73-78.

43. Сокол В.А. Анодные оксиды алюминия. Минск, 2011.

44. Сокол В.А., Турцевич А.С., Белоус А.И. // Электронная промышленность. 2012. № 1. С. 44-48.

45. Воробьева А.И., Сокол В.А. // Докл. БГУИР. 2012. № 3 (65). С. 6-11.

Для цитирования:

Сокол В.А., Костюченко С.А. ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ. Доклады БГУИР. 2014;(2):14-22.

For citation:

Sokol V.A., Kostyichenko S.A. ELECTROCHEMICAL TECHNOLOGY FOR MICRO- AND NANOELECTRONIC DEVICES. Doklady BGUIR. 2014;(2):14-22. (In Russ.)

Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.

ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)

Доклады БГУИР

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ

Полный текст:

Аннотация

Ключевые слова

Об авторах

Список литературы

Рецензия

Для цитирования:

For citation:

Логин
Пароль
	Запомнить меня

Войти

Доклады БГУИР

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ

Полный текст:

Аннотация

Ключевые слова

Об авторах

Список литературы

Рецензия

Для цитирования:

For citation:

Использование куки-файлов