Для цитирования:

Сокол В.А., Костюченко С.А. ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ. Доклады БГУИР. 2014;(2):14-22.

For citation:

Sokol V.A., Kostyichenko S.A. ELECTROCHEMICAL TECHNOLOGY FOR MICRO- AND NANOELECTRONIC DEVICES. Doklady BGUIR. 2014;(2):14-22. (In Russ.)