ГИДРОТЕРМАЛЬНОЕ ОСАЖДЕНИЕ НАНОКРИСТАЛЛОВ ОКСИДА ЦИНКА НА КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
Аннотация
Представлены результаты гидротермального осаждения нелегированных и легированных алюминием нанокристаллов оксида цинка на монокристаллические кремниевые подложки, поверхность которых была пассивирована водородом. Процесс гидротермального осаждения оксида цинка проводился в эквимолярных растворах нитрата цинка и гексаметилентетрамина. Нитрат алюминия был использован в качестве источника ионов алюминия для осаждения легированных кристаллов оксида цинка. В работе показано различие в морфологии нелегированных и легированных кристаллов оксида цинка. Исследованы спектры фотолюминесценции нелегированных и легированных алюминием кристаллов оксида цинка.
Об авторе
Е. Б. Чубенко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Özgür Ü., Alivov Ya.I., Liu C. et. al. // J. Appl. Phys. 2005. Vol. 98. P. 1301.
2. Baruah S., Dutta J. // Sci. Technol. Adv. Mater. 2009. Vol. 10. P. 3001.
3. Yun S., Lee J., Yang J. et. al. // Phys. B. 2010. Vol. 405. P. 413-419.
4. Yu A., Qian J., Pan H. Cui Y. et. al. // Sens. Actuators. B. 2011. Vol. 158. P. 9-16.
5. Ashfold M.N.R., Doherty R.P., Ndifor-Angwafor N.G. et. al. // Thin Solid Films. 2007. Vol. 515. P. 8679-8683.
6. Liu Ch., Masud Y., Wu Y. et. al. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 503. P. 110-114.
7. Zhang W.C., Wu X.L., Chen H.T. et. al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 103. P. 3718.
8. Mo C.M., Li Y.H., Liu Y.S. et. al. // J. Appl. Phys. 1998. Vol. 83. P. 4389-4391.
Для цитирования:
Чубенко Е.Б. ГИДРОТЕРМАЛЬНОЕ ОСАЖДЕНИЕ НАНОКРИСТАЛЛОВ ОКСИДА ЦИНКА НА КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ. Доклады БГУИР. 2013;(2):64-69.
For citation:
Chubenko E.B. HYDROTHERMAL DEPOSITION OF ZnO NANOSTRUCTURES ON SILICON WAFERS. Doklady BGUIR. 2013;(2):64-69. (In Russ.)
Просмотров: 23
Послать статью по эл. почте 