Сортировать по:
Выпуск | Название | |
Том 22, № 1 (2024) | Управление механическими напряжениями в пленках SiNx при осаждении из смеси SiH4-NH3-He в индуктивно-связанной плазме | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Н. С. Ковальчук, С. А. Демидович, Л. А. Власукова, И. Н. Пархоменко | ||
"... a SiH4-NH3-He gaseous mixture in an inductively coupled plasma reactor at a deposition temperature ..." | ||
Том 22, № 2 (2024) | Ионно-плазменные системы в технологии тонких пленок | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. П. Достанко, С. И. Мадвейко, Е. В. Телеш, С. Н. Мельников, С. М. Завадский, Д. А. Голосов | ||
"... The article discusses the current trends in the development of ion-plasma systems for ion ..." | ||
1 - 2 из 2 результатов |
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)