Для цитирования:

Лагунович Н.Л., Борздов В.М., Турцевич А.С. УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МАРШРУТА ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ БИПОЛЯРНОГО ТРАНЗИСТОРА СО СТАТИЧЕСКОЙ ИНДУКЦИЕЙ. Доклады БГУИР. 2017;(3):70-77.

For citation:

Lagunovich N.L., Borzdov V.M., Turtsevich A.S. The impruvement of process flow making bipolar static induction transistor and its device-process simulation. Doklady BGUIR. 2017;(3):70-77. (In Russ.)