Для цитирования:

Биран С.А., Короткевич Д.А., Короткевич А.В. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС НА ОСНОВЕ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ. Доклады БГУИР. 2016;(7):380-382.

For citation:

Biran S.A., Korotkevich D.A., Korotkevich A.V. RESEARCH on MECHANICAL PROPERTIES OF MEMS COMPONENTS BASED ON anodic alumina. Doklady BGUIR. 2016;(7):380-382. (In Russ.)