RESEARCH on MECHANICAL PROPERTIES OF MEMS COMPONENTS BASED ON anodic alumina
Abstract
Today, using of nanostructured materials in microelectromechanical systems (MEMS) is very perspective. One of such materials is anodic aluminum oxide that has electrical and mechanical properties not worse than other materials that are currently used in manufacturing of MEMS devices. This article presents the results of research in methodology and measurement of Young's modulus of free aluminum oxide films.
About the Authors
S. A. Biran
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
D. A. Korotkevich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
A. V. Korotkevich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Мухуров Н.И. Алюмооксидные микро-наноструктуры для микроэлектромеханических систем. Минск, 2004.
2. Сокол В.А., Короткевич А.В., Погудо Е.Л. и др. // Изв. Белорусской академии. 2003. № 1(15)/4. С. 42.
3. Биран С.А. , Короткевич Д.А., Короткевич А.В. // Матер. 25-ой Междунар. конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии». Севастополь, 2015. С. 741-742.
4. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Механика. М., 1979.
Review
For citations:
Biran S.A., Korotkevich D.A., Korotkevich A.V. RESEARCH on MECHANICAL PROPERTIES OF MEMS COMPONENTS BASED ON anodic alumina. Doklady BGUIR. 2016;(7):380-382. (In Russ.)
Views: 3441
Email this article 