ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС НА ОСНОВЕ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ
Аннотация
В микроэлектромеханических системах (МЭМС) в настоящее время перспективным является использование наноструктурированных материалов. Одним из таких материалов является анодный оксид алюминия, который своими электрическими и механическими свойствами не уступает другим материалам, которые в настоящее время используются при производстве МЭМС-устройств. В данной статье приведены результаты по разработке методики и проведению измерения модуля Юнга свободных оксидных пленок алюминия.
Для цитирования:
Биран С.А., Короткевич Д.А., Короткевич А.В. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС НА ОСНОВЕ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ. Доклады БГУИР. 2016;(7):380-382.
For citation:
Biran S.A., Korotkevich D.A., Korotkevich A.V. RESEARCH on MECHANICAL PROPERTIES OF MEMS COMPONENTS BASED ON anodic alumina. Doklady BGUIR. 2016;(7):380-382. (In Russ.)
Просмотров:
5130
Послать статью по эл. почте 