ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС НА ОСНОВЕ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ
Аннотация
В микроэлектромеханических системах (МЭМС) в настоящее время перспективным является использование наноструктурированных материалов. Одним из таких материалов является анодный оксид алюминия, который своими электрическими и механическими свойствами не уступает другим материалам, которые в настоящее время используются при производстве МЭМС-устройств. В данной статье приведены результаты по разработке методики и проведению измерения модуля Юнга свободных оксидных пленок алюминия.
Об авторах
С. А. Биран
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. А. Короткевич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. В. Короткевич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Мухуров Н.И. Алюмооксидные микро-наноструктуры для микроэлектромеханических систем. Минск, 2004.
2. Сокол В.А., Короткевич А.В., Погудо Е.Л. и др. // Изв. Белорусской академии. 2003. № 1(15)/4. С. 42.
3. Биран С.А. , Короткевич Д.А., Короткевич А.В. // Матер. 25-ой Междунар. конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии». Севастополь, 2015. С. 741-742.
4. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Механика. М., 1979.
Рецензия
Для цитирования:
Биран С.А., Короткевич Д.А., Короткевич А.В. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС НА ОСНОВЕ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ. Доклады БГУИР. 2016;(7):380-382.
For citation:
Biran S.A., Korotkevich D.A., Korotkevich A.V. RESEARCH on MECHANICAL PROPERTIES OF MEMS COMPONENTS BASED ON anodic alumina. Doklady BGUIR. 2016;(7):380-382. (In Russ.)
Просмотров: 3429
Послать статью по эл. почте 