Morphology and phase composition of the molybdenum and iron oxides films on a substrate from anodic aluminum oxide
Abstract
The study results of the surface morphology of molybdenum thin films phase composition and iron oxides formed on substrates from anodic alumina are presented. The formation of MoO3 polycrystalline film with orthorhombic crystal lattice and a grain size of 100 to 500 nm was carried out by thermal oxidation of the metal film in the temperature range 400-450 °C. The oxidation of iron films at temperatures of 550 to 750 °C formed the polycrystalline films of phase α-Fe2O3 (hematite) with a rhombohedral crystal lattice.
About the Authors
S. V. Dzenisiuk
Институт физики НАН Беларуси
Belarus
Belarus
A. M. Kudanovich
Институт физики НАН Беларуси
Belarus
Belarus
E. E. Kolesnik
Институт физики НАН Беларуси
Belarus
Belarus
References
1. Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н. Устройства микромеханики и микросенсорики на нанопористом оксиде алюминия. Минск, 2005.
2. Румянцева М.Н., Коваленко В.В., Гаськов А.М. и др. // Рос. хим. ж. 2007. Т. LI, № 6. С. 61-70.
3. Бубнов Ю.З., Бирюлин Г.В., Егоров В.И. и др. // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. Т. 53. № 4. С. 38-41.
4. Сысоев В.В. Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур: автореф. дис. … докт. тех. наук. Саратов, 2009.
5. Yu-Feng Sun // Sensors. 2012. № 12 (3). P. 2610-2631.
6. Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. Адсорбционно-резистивный газовый сенсор / Патент РБ № 10166.
7. Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. и др. // Приборы. 2015. № 2. C. 7-12.
Review
For citations:
Dzenisiuk S.V., Kudanovich A.M., Kolesnik E.E. Morphology and phase composition of the molybdenum and iron oxides films on a substrate from anodic aluminum oxide. Doklady BGUIR. 2015;(8):76-80. (In Russ.)
Views: 297
Email this article 