МОРФОЛОГИЯ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ЖЕЛЕЗА НА ПОДЛОЖКАХ ИЗ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ
Аннотация
Представлены результаты исследования морфологии поверхности фазового состава тонких пленок оксидов молибдена и железа, сформированных на подложках из анодного оксида алюминия. Установлено образование поликристаллической пленки MoO3 с орторомбической кристаллической решеткой и размерами зерен от 100 до 500 нм при термическом окислении пленки металла в интервале температур 400-450 °C. При окислении пленки железа при температурах от 550 до 750 °C образуется поликристаллическая пленка α-фазы Fe2O3 (гематит) с ромбоэдрической кристаллической решеткой.
Список литературы
1. Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н. Устройства микромеханики и микросенсорики на нанопористом оксиде алюминия. Минск, 2005.
2. Румянцева М.Н., Коваленко В.В., Гаськов А.М. и др. // Рос. хим. ж. 2007. Т. LI, № 6. С. 61-70.
3. Бубнов Ю.З., Бирюлин Г.В., Егоров В.И. и др. // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. Т. 53. № 4. С. 38-41.
4. Сысоев В.В. Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур: автореф. дис. … докт. тех. наук. Саратов, 2009.
5. Yu-Feng Sun // Sensors. 2012. № 12 (3). P. 2610-2631.
6. Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. Адсорбционно-резистивный газовый сенсор / Патент РБ № 10166.
7. Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. и др. // Приборы. 2015. № 2. C. 7-12.
Для цитирования:
Денисюк С.В.,
Куданович О.Н.,
Колесник Э.Э.
МОРФОЛОГИЯ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ЖЕЛЕЗА НА ПОДЛОЖКАХ ИЗ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(8):76-80.
For citation:
Dzenisiuk S.V.,
Kudanovich A.M.,
Kolesnik E.E.
Morphology and phase composition of the molybdenum and iron oxides films on a substrate from anodic aluminum oxide. Doklady BGUIR. 2015;(8):76-80.
(In Russ.)
Просмотров:
396