bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-597Research ArticleСтатьиМОРФОЛОГИЯ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ЖЕЛЕЗА НА ПОДЛОЖКАХ ИЗ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯMorphology and phase composition of the molybdenum and iron oxides films on a substrate from anodic aluminum oxideДенисюкС. В.DzenisiukS. V.noemail@neicon.ruКудановичО. Н.KudanovichA. M.noemail@neicon.ruКолесникЭ. Э.KolesnikE. E.noemail@neicon.ruИнститут физики НАН БеларусиBelarus201503062019087680Copyright © Денисюк С.В., Куданович О.Н., Колесник Э.Э., 20192019Денисюк С.В., Куданович О.Н., Колесник Э.Э.Dzenisiuk S.V., Kudanovich A.M., Kolesnik E.E.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/597

Представлены результаты исследования морфологии поверхности фазового состава тонких пленок оксидов молибдена и железа, сформированных на подложках из анодного оксида алюминия. Установлено образование поликристаллической пленки MoO3 с орторомбической кристаллической решеткой и размерами зерен от 100 до 500 нм при термическом окислении пленки металла в интервале температур 400-450 °C. При окислении пленки железа при температурах от 550 до 750 °C образуется поликристаллическая пленка α-фазы Fe2O3 (гематит) с ромбоэдрической кристаллической решеткой.

The study results of the surface morphology of molybdenum thin films phase composition and iron oxides formed on substrates from anodic alumina are presented. The formation of MoO3 polycrystalline film with orthorhombic crystal lattice and a grain size of 100 to 500 nm was carried out by thermal oxidation of the metal film in the temperature range 400-450 °C. The oxidation of iron films at temperatures of 550 to 750 °C formed the polycrystalline films of phase α-Fe2O3 (hematite) with a rhombohedral crystal lattice.

оксиды молибдена и железаподложкатонкие пленкиокислениеReferencesМухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н. Устройства микромеханики и микросенсорики на нанопористом оксиде алюминия. Минск, 2005.Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н. Устройства микромеханики и микросенсорики на нанопористом оксиде алюминия. Минск, 2005.Румянцева М.Н., Коваленко В.В., Гаськов А.М. и др. // Рос. хим. ж. 2007. Т. LI, № 6. С. 61-70.Румянцева М.Н., Коваленко В.В., Гаськов А.М. и др. // Рос. хим. ж. 2007. Т. LI, № 6. С. 61-70.Бубнов Ю.З., Бирюлин Г.В., Егоров В.И. и др. // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. Т. 53. № 4. С. 38-41.Бубнов Ю.З., Бирюлин Г.В., Егоров В.И. и др. // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. Т. 53. № 4. С. 38-41.Сысоев В.В. Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур: автореф. дис. … докт. тех. наук. Саратов, 2009.Сысоев В.В. Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур: автореф. дис. … докт. тех. наук. Саратов, 2009.Yu-Feng Sun // Sensors. 2012. № 12 (3). P. 2610-2631.Yu-Feng Sun // Sensors. 2012. № 12 (3). P. 2610-2631.Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. Адсорбционно-резистивный газовый сенсор / Патент РБ № 10166.Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. Адсорбционно-резистивный газовый сенсор / Патент РБ № 10166.Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. и др. // Приборы. 2015. № 2. C. 7-12.Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. и др. // Приборы. 2015. № 2. C. 7-12.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.