МОРФОЛОГИЯ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ЖЕЛЕЗА НА ПОДЛОЖКАХ ИЗ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ
Аннотация
Представлены результаты исследования морфологии поверхности фазового состава тонких пленок оксидов молибдена и железа, сформированных на подложках из анодного оксида алюминия. Установлено образование поликристаллической пленки MoO3 с орторомбической кристаллической решеткой и размерами зерен от 100 до 500 нм при термическом окислении пленки металла в интервале температур 400-450 °C. При окислении пленки железа при температурах от 550 до 750 °C образуется поликристаллическая пленка α-фазы Fe2O3 (гематит) с ромбоэдрической кристаллической решеткой.
Об авторах
С. В. Денисюк
Институт физики НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
О. Н. Куданович
Институт физики НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
Э. Э. Колесник
Институт физики НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н. Устройства микромеханики и микросенсорики на нанопористом оксиде алюминия. Минск, 2005.
2. Румянцева М.Н., Коваленко В.В., Гаськов А.М. и др. // Рос. хим. ж. 2007. Т. LI, № 6. С. 61-70.
3. Бубнов Ю.З., Бирюлин Г.В., Егоров В.И. и др. // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. Т. 53. № 4. С. 38-41.
4. Сысоев В.В. Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур: автореф. дис. … докт. тех. наук. Саратов, 2009.
5. Yu-Feng Sun // Sensors. 2012. № 12 (3). P. 2610-2631.
6. Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. Адсорбционно-резистивный газовый сенсор / Патент РБ № 10166.
7. Мухуров Н.И., Денисюк С.В., Куданович О.Н. и др. // Приборы. 2015. № 2. C. 7-12.
Рецензия
Для цитирования:
Денисюк С.В., Куданович О.Н., Колесник Э.Э. МОРФОЛОГИЯ И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ЖЕЛЕЗА НА ПОДЛОЖКАХ ИЗ АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(8):76-80.
For citation:
Dzenisiuk S.V., Kudanovich A.M., Kolesnik E.E. Morphology and phase composition of the molybdenum and iron oxides films on a substrate from anodic aluminum oxide. Doklady BGUIR. 2015;(8):76-80. (In Russ.)
Просмотров: 278
Послать статью по эл. почте 