Mechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion process
Abstract
Nanostructured porous silicon impregnated by solid state oxidants has been studied in order to provide the mechanical impulse for jet-propulsion microsystems. The system with jet-propulsion movement on a silicon chip has been used for impulse measurements. The estimated impulse value is in the range of 25-130 mN·s by using of carrying platform for Si chips.
About the Authors
A. V. Dolbik
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
A. Yu. Zubov
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
S. N. Krisevich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
A. S. Sychevich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
A. V. Korotkevich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
S. K. Lazarouk
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
V. A. Labunov
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Zakar E. Technology Challenges in Solid Energetic Materials for Micro Propulsion Applications, USA, 2009.
2. Canham L.T. Properties of Porous Silicon. London, 1997.
3. Clement D., Diener J., Gross E. et al. // Phys. Status Solidi A. 2005. Vol. 202. P. 1357-1364.
4. Monuko du Plessis // Propellants Explos. Pyrotech. 2014. Vol. 39. P. 348-364.
5. Лазарук С.К., Долбик А.В., Жагиро П.В. и др. // ФТП. 2005. Т. 39. С. 917-919.
6. Viet Cuong Nguyen, Pita K., Kam C.H. et al. // J. Propuls. Power. 2015. Vol. 31, № 2. P. 694-698.
7. Лазарук С.К., Долбик А.В., Лабунов В.А. и др. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 1130-1134.
8. Долбик А.В., Лазарук С.К., Луценко Е.В. и др. // Известия Белорусской инженерной академии. 2005. № 1 (19) /5. C. 30-32.
Review
For citations:
Dolbik A.V., Zubov A.Yu., Krisevich S.N., Sychevich A.S., Korotkevich A.V., Lazarouk S.K., Labunov V.A. Mechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion process. Doklady BGUIR. 2015;(6):90-93. (In Russ.)
Views: 384
Email this article 