УВЕЛИЧЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ИМПУЛЬСА В МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭНЕРГИЮ ГОРЕНИЯ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Аннотация
Процесс горения нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии для механического движения микроэлектромеханических систем с реактивной тягой. Исследования показали, что механический импульс микросистемы с кремниевым чипом площадью 1 см2 может быть увеличен до 130 мН с за счет увеличения объема нанопористого кремния, а также за счет увеличения массы несущей платформы.
Для цитирования:
Долбик А.В., Зубов А.Ю., Крисевич С.Н., Сычевич А.С., Короткевич А.В., Лазарук С.К., Лабунов В.А. УВЕЛИЧЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ИМПУЛЬСА В МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭНЕРГИЮ ГОРЕНИЯ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(6):90-93.
For citation:
Dolbik A.V., Zubov A.Yu., Krisevich S.N., Sychevich A.S., Korotkevich A.V., Lazarouk S.K., Labunov V.A. Mechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion process. Doklady BGUIR. 2015;(6):90-93. (In Russ.)
Просмотров: 435
Послать статью по эл. почте 