УВЕЛИЧЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ИМПУЛЬСА В МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭНЕРГИЮ ГОРЕНИЯ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Аннотация
Процесс горения нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии для механического движения микроэлектромеханических систем с реактивной тягой. Исследования показали, что механический импульс микросистемы с кремниевым чипом площадью 1 см2 может быть увеличен до 130 мН с за счет увеличения объема нанопористого кремния, а также за счет увеличения массы несущей платформы.
Об авторах
А. В. Долбик
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. Ю. Зубов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. Н. Крисевич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. С. Сычевич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. В. Короткевич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. К. Лазарук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. А. Лабунов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Zakar E. Technology Challenges in Solid Energetic Materials for Micro Propulsion Applications, USA, 2009.
2. Canham L.T. Properties of Porous Silicon. London, 1997.
3. Clement D., Diener J., Gross E. et al. // Phys. Status Solidi A. 2005. Vol. 202. P. 1357-1364.
4. Monuko du Plessis // Propellants Explos. Pyrotech. 2014. Vol. 39. P. 348-364.
5. Лазарук С.К., Долбик А.В., Жагиро П.В. и др. // ФТП. 2005. Т. 39. С. 917-919.
6. Viet Cuong Nguyen, Pita K., Kam C.H. et al. // J. Propuls. Power. 2015. Vol. 31, № 2. P. 694-698.
7. Лазарук С.К., Долбик А.В., Лабунов В.А. и др. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 1130-1134.
8. Долбик А.В., Лазарук С.К., Луценко Е.В. и др. // Известия Белорусской инженерной академии. 2005. № 1 (19) /5. C. 30-32.
Рецензия
Для цитирования:
Долбик А.В., Зубов А.Ю., Крисевич С.Н., Сычевич А.С., Короткевич А.В., Лазарук С.К., Лабунов В.А. УВЕЛИЧЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ИМПУЛЬСА В МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭНЕРГИЮ ГОРЕНИЯ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ. Доклады БГУИР. 2015;(6):90-93.
For citation:
Dolbik A.V., Zubov A.Yu., Krisevich S.N., Sychevich A.S., Korotkevich A.V., Lazarouk S.K., Labunov V.A. Mechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion process. Doklady BGUIR. 2015;(6):90-93. (In Russ.)
Просмотров:
449
Послать статью по эл. почте 