bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-557Research ArticleСтатьиУВЕЛИЧЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКОГО ИМПУЛЬСА В МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭНЕРГИЮ ГОРЕНИЯ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯMechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion processДолбикА. В.DolbikA. V.noemail@neicon.ruЗубовА. Ю.ZubovA. Yu.noemail@neicon.ruКрисевичС. Н.KrisevichS. N.noemail@neicon.ruСычевичА. С.SychevichA. S.noemail@neicon.ruКороткевичА. В.KorotkevichA. V.noemail@neicon.ruЛазарукС. К.LazaroukS. K.noemail@neicon.ruЛабуновВ. А.LabunovV. A.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarus201503062019069093Copyright © Долбик А.В., Зубов А.Ю., Крисевич С.Н., Сычевич А.С., Короткевич А.В., Лазарук С.К., Лабунов В.А., 20192019Долбик А.В., Зубов А.Ю., Крисевич С.Н., Сычевич А.С., Короткевич А.В., Лазарук С.К., Лабунов В.А.Dolbik A.V., Zubov A.Y., Krisevich S.N., Sychevich A.S., Korotkevich A.V., Lazarouk S.K., Labunov V.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/557

Процесс горения нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии для механического движения микроэлектромеханических систем с реактивной тягой. Исследования показали, что механический импульс микросистемы с кремниевым чипом площадью 1 см2 может быть увеличен до 130 мН с за счет увеличения объема нанопористого кремния, а также за счет увеличения массы несущей платформы.

Nanostructured porous silicon impregnated by solid state oxidants has been studied in order to provide the mechanical impulse for jet-propulsion microsystems. The system with jet-propulsion movement on a silicon chip has been used for impulse measurements. The estimated impulse value is in the range of 25-130 mN·s by using of carrying platform for Si chips.

нанопористый кремнийокислительмеханический импульсReferencesZakar E. Technology Challenges in Solid Energetic Materials for Micro Propulsion Applications, USA, 2009.Zakar E. Technology Challenges in Solid Energetic Materials for Micro Propulsion Applications, USA, 2009.Canham L.T. Properties of Porous Silicon. London, 1997.Canham L.T. Properties of Porous Silicon. London, 1997.Clement D., Diener J., Gross E. et al. // Phys. Status Solidi A. 2005. Vol. 202. P. 1357-1364.Clement D., Diener J., Gross E. et al. // Phys. Status Solidi A. 2005. Vol. 202. P. 1357-1364.Monuko du Plessis // Propellants Explos. Pyrotech. 2014. Vol. 39. P. 348-364.Monuko du Plessis // Propellants Explos. Pyrotech. 2014. Vol. 39. P. 348-364.Лазарук С.К., Долбик А.В., Жагиро П.В. и др. // ФТП. 2005. Т. 39. С. 917-919.Лазарук С.К., Долбик А.В., Жагиро П.В. и др. // ФТП. 2005. Т. 39. С. 917-919.Viet Cuong Nguyen, Pita K., Kam C.H. et al. // J. Propuls. Power. 2015. Vol. 31, № 2. P. 694-698.Viet Cuong Nguyen, Pita K., Kam C.H. et al. // J. Propuls. Power. 2015. Vol. 31, № 2. P. 694-698.Лазарук С.К., Долбик А.В., Лабунов В.А. и др. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 1130-1134.Лазарук С.К., Долбик А.В., Лабунов В.А. и др. // ФТП. 2007. Т. 41. С. 1130-1134.Долбик А.В., Лазарук С.К., Луценко Е.В. и др. // Известия Белорусской инженерной академии. 2005. № 1 (19) /5. C. 30-32.Долбик А.В., Лазарук С.К., Луценко Е.В. и др. // Известия Белорусской инженерной академии. 2005. № 1 (19) /5. C. 30-32.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.