Для цитирования:

Ковальчук Н.С., Шестовский Д.В., Соловьёв Я.А., Пилипенко В.А. Влияние нитридизации оксида кремния импульсной фотонной обработкой на электрические параметры электронной компонентной базы КМОП интегральных схем. Доклады БГУИР. 2026;24(4):16-21. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2026-24-4-16-21

For citation:

Kovalchuk N., Shestovsky D., Solovjov J., Pilipenko V. The Influence of Silicon Oxide Nitridation by Pulsed Photon Processing on the Electrical Parameters of the Electronic Component Base of CMOS Integrated Circuits. Doklady BGUIR. 2026;24(4):16-21. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2026-24-4-16-21