Для цитирования:

Логунов К.Т. Влияние параметров очистки в высокоплотной плазме аргона на морфологию поверхности стеклянных подложек и характеристики эмиссионного спектра. Доклады БГУИР. 2025;23(6):24-30. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-6-24-30

For citation:

Logunov K.T. The Influence of Cleaning Parameters in High-Density Argon Plasma on the Surface Morphology of Glass Substrates and the Characteristics of the Emission Spectrum. Doklady BGUIR. 2025;23(6):24-30. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-6-24-30