Для цитирования:

Купо А.Н. Лазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроники. Доклады БГУИР. 2025;23(5):20-26. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26

For citation:

Kupo A.N. Laser-Activated Photochemical Processes of Formation of Thin-Film Systems of Microelectronics. Doklady BGUIR. 2025;23(5):20-26. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26