bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИР10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26bsuir-4203Research ArticleСтатьиЛазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроникиLaser-Activated Photochemical Processes of Formation of Thin-Film Systems of MicroelectronicsКупоА. Н.KupoA. N.

Купо Александр Николаевич, канд. техн. наук, доц., нач. центра информационных технологий, 

246019, Гомель, ул. Советская, 102, корп. 5.

Тел.: +375 29 630-32-62.

 

Kupo Aliaksandr, Cand. Sci. (Tech.), Associate Professor, Head of the Center for Information Technologies, 

102, Bld. 5, Sovetskaya St., Gomel, 246019.

Tel.: +375 29 630-32-62.

kupo@gsu.byГомельский государственный университет имени Франциска СкориныFrancisk Skorina Gomel State University2025291020252352026Copyright © Купо А.Н., 20252025Купо А.Н.Kupo A.N.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/4203

Представлены результаты исследования лазерно-активированных процессов электрохимического осаждения функциональных тонкопленочных субмикронных токопроводящих структур с использованием цианистых электролитов. Исследовано воздействие на цианистые электролиты лазерного излучения с длинами волн λ = 600–200 нм, которое приводит к активной диссоциации соединений видов KiMe(CN)j, Mei(CN)j, KiMei(CN)j. Это способствует локальному росту градиента концентрации активных электрохимических частиц и обуславливает увеличение локальной скорости электрохимического осаждения в целом. Проанализировано влияние на указанные процессы таких параметров, как интенсивность лазерного излучения, коэффициент поглощения лазерного излучения электролитом (эффективное сечение поглощения) и квантовый выход диссоциации, которые определяются составом электролита и селективностью лазерного воздействия.

The article presents the results of a study of laser-assisted electrochemical deposition of functional thinfilm submicron conductive structures using cyanide electrolytes. The effect of laser radiation with wavelengths of  λ = 600–200 nm on cyanide electrolytes was investigated. This radiation leads to the active dissociation of compounds of the KiMe(CN)j, Mei(CN)j, and KiMei(CN)j types. This promotes a local increase in the concentration gradient of active electrochemical species and causes an increase in the local rate of electrochemical deposition as a whole. The influence of such parameters as laser radiation intensity, the absorption coefficient of laser radiation by the electrolyte (effective absorption cross-section), and the dissociation quantum yield, which are determined by the composition of the electrolyte and the selectivity of the laser irradiation, on these processes was analyzed.

лазерные фотохимические процессыцианистые электролитылазерно-активированное электрохимическое осаждениеlaser photochemical processescyanide electrolyteslaser-activated electrochemical depositionReferencesКупо, А. Н. Лазерная технология интенсификации гальванического осаждения функциональных покрытий / А. Н. Купо, А. А. Хмыль, В. Л. Ланин // Технологии в электронной промышленности. 2016. № 8. С. 42–46.Kupo A. N., Khmyl A. A., Lanin V. L. (2016) Laser Technology of Intensification of Galvanic Deposition of Functional Coatings. Technology in the Electronics Industry. (8), 42–46 (in Russian).Photochemistry (Definition of Terms) [Electronic Resource] // Chemical Engineering Matters. Mode of access: https://chemicalengineeringmatters.wordpress.com/2014/12/17/photochemistry-definition-ofterms/. Date of access: 26.08.2025.Photochemistry (Definition of Terms). Chemical Engineering Matters. Available: https://chemicalengineeringmatters.wordpress.com/2014/12/17/photochemistry-definition-of-terms/ (26 August 2025).Upadhyay, Sh. Photochemical Reaction and Applications in Organic Synthesis / Sh. Upadhyay, J. Kumar // ICBC. 2021. Vol. 1, No 4. DOI: 10.33552/ICBC.2021.01.000520.Upadhyay Sh., Kumar. J. (2021) Photochemical Reaction and Applications in Organic Synthesis. ICBC. 1 (4). DOI: 10.33552/ICBC.2021.01.000520.Купо, А. Н. Фотохимический механизм стимуляции процесса электрохимической обработки материалов / А. Н. Купо // Известия Гомельского государственного университета имени Ф. Скорины. 2009. № 4. С. 123–131.Kupo A. N. (2009) Photochemical Mechanism of Stimulation of the Process of Electrochemical Processing of Materials. News of the F. Skorina Gomel State University. (4), 123–131 (in Russian).Solve Nonstiff Differential Equations – Medium Order Method [Electronic Resource] // MATLAB Help Center. Mode of access: https://www.mathworks.com/help/matlab/ref/ode45.html. Date of access: 20.08.2025.Solve Nonstiff Differential Equations – Medium Order Method. MATLAB Help Center. Available: https:// www.mathworks.com/help/matlab/ref/ode45.html (20 August 2025).

The authors declare that there are no conflicts of interest present.