Синтез пленочных сплавов кремний-германий на основе химически формируемых слоев пористого кремния
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-20-27
Аннотация
Исследован процесс формирования пленок сплавов кремний-германий путем электрохимического заполнения пористой кремниевой матрицы германием с последующим быстрым термическим отжигом при температуре 950 °C в потоке аргона. Слои пористого кремния низкой пористости получены металл-стимулированным химическим травлением слаболегированных кремниевых пластин. Показано, что сформированная в данном температурном режиме пленка сплава всегда расположена на остаточном пористом подслое. При этом различие в толщине исходного слоя пористого кремния определяет не только толщину данного подслоя, но и толщину самой пленки сплава, а также ее состав. Такое поведение объясняется различиями в распределении градиента температуры: в случае более толстых пористых слоев отвод тепла от приповерхностной области слоя осложняется в связи с низкой теплопроводностью пористого кремния, и она подвергается нагреву в большей мере, приводя к росту более толстого слоя сплава с повышенным содержанием кремния. Предполагается, что наличие пористого подслоя способно обеспечить теплои электроизоляцию сформированной пленки сплава, что исключит необходимость ее переноса на диэлектрическую подложку для последующего использования в составе термоэлектрических преобразователей и иных устройств.
Для цитирования:
Гревцов Н.Л. Синтез пленочных сплавов кремний-германий на основе химически формируемых слоев пористого кремния. Доклады БГУИР. 2025;23(2):20-27. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-20-27
For citation:
Grevtsov N.L. Synthesis of Silicon-Germanium Film Alloys Based on Chemically Formed Porous Silicon Layers. Doklady BGUIR. 2025;23(2):20-27. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-20-27