Конструктивные решения приборных структур биполярных транзисторов с изолированным затвором и вертикальным расположением канала
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-81-89
Аннотация
Представлены результаты компьютерного моделирования эксплуатационных характеристик приборных структур биполярного транзистора с изолированным затвором (англ. IGBT) и вертикальным расположением канала, сформированных в соответствии с технологиями Trench-IGBT, суперпереходной Trench-IGBT (SJ-IGBT), SJ-IGBT с глубокой канавкой (DT-SJ-IGBT), SJ-IGBT с плавающей p-областью (FP-SJ-IGBT) и Trench-IGBT со ступенчатым легированным коллектором. Рассмотрены особенности функционирования конструктивных решений такого биполярного транзистора. Исследована конструкция Trench-IGBT со ступенчатым легированным коллектором, которая обеспечивает уменьшение потерь при выключении.
Об авторах
Чонг Тхань НгуенБеларусь
Чонг Тхань Нгуен, асп. каф. микро- и наноэлектроники
г. Минск
Дао Динь Ха
Вьетнам
Дао Динь Ха, канд. тех. наук, преп. каф. микропроцессорной техники
г. Ханой
И. Ю. Ловшенко
Беларусь
Ловшенко Иван Юрьевич, зав. науч.-исслед. лаб. «Компьютерное проектирование микро- и наноэлектронных систем» (НИЛ 4.4)
220013, г. Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 17 293-88-90
В. Р. Стемпицкий
Беларусь
Стемпицкий В. Р., канд. тех. наук, доц., проректор по научной работе, науч. рук. НИЛ 4.4
г. Минск
Список литературы
1. Хэнкок, Д. Ключевые моменты при выборе Super-Junction MOSFET / Д. Хэнкок // Электронные компоненты. 2011. № 2. С. 66–72.
2. Iannuzzo, F. Modern Power Electronic Devices: Physics, Applications, and Reliability / F. Iannuzzo. UK: Institution of Engineering and Technology, 2020.
3. A Review of Power Electronic Devices for Heavy Goods Vehicles Electrification: Performance and Reliability / O. Alatise [et al.] // Energies. 2023. Vol. 16, No 11.
4. Raje, К. IGBT and Super Junction MOSFET / K. Raje // Market Report 2024 (Global Edition).
5. Baliga, B. J. Fundamentals of Power Semiconductor Devices / B. J. Baliga // Springer Science & Business Media. 2010.
6. A Simulation Study on a Novel Trench SJIGBT / B. Wang [et al.] // Journal of Semiconductors. 2012. Vol. 33, No 11.
7. Fujihira, T. Theory of Semiconductor Superjunction Devices / T. Fujihira // Japanese Journal of Applied Physics. 1997. Vol. 36, No 10R.
8. The Field Stop IGBT (FS IGBT). A New Power Device Concept with a Great Improvement Potential / T. Laska [et al.] // 12 th International Symposium on Power Semiconductor Devices & ICs. Proceedings. 2000. P. 355–358.
9. A Simulation Study on Novel Field Stop IGBTs Using Superjunction / K.-H. Oh [et al.] // IEEE Transactions on Electron Devices. 2006. Vol. 53, No 4. P. 884–890.
10. Semiconductor Device: U.S. Patent 6111289, Apr. 29, 2000 / F. Udrea.
11. The Soft Punchthrough Superjunction Insulated Gate Bipolar Transistor: A High Speed Structure with Enhanced Electron Injection / M. Antoniou [et al.] // IEEE Transactions on Electron Devices. 2011. Vol. 58, No 3. P. 769–775.
12. Antoniou, M. The Superjunction Insulated Gate Bipolar Transistor Optimization and Modeling / M. Antoniou, F. Udrea, F. Bauer // IEEE Transactions on Electron Devices. 2010. Vol. 57, No 3. P. 594–600.
13. The Semi-Superjunction IGBT / M. Antoniou [et al.] // IEEE Electron Device Letters. 2010. Vol. 31, No 6. P. 591–593.
14. A Novel TFS-IGBT with a Super Junction Floating Layer / J. Ye [et al.] //Journal of Semiconductors. 2010. Vol. 31, No 11.
15. Silvaco [Electronic Resource]. Mode of access: http://silvaco.com/. Date of access: 22.11.2024.
16. Synopsys [Electronic Resource]. Mode of access: https://synopsys.com/. Date of access: 22.11.2024.
17. Cogenda [Electronic Resource]. Mode of access: https://cogenda.com/. Date of access: 22.11.2024.
Рецензия
Для цитирования:
Нгуен Ч.Т., Ха Д.Д., Ловшенко И.Ю., Стемпицкий В.Р. Конструктивные решения приборных структур биполярных транзисторов с изолированным затвором и вертикальным расположением канала. Доклады БГУИР. 2024;22(6):81-89. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-81-89
For citation:
Nguyen T.T., Ha D.D., Lovshenko I.Yu., Stempitsky V.R. Design Solutions for Device Structures of Bipolar Transistors with an Insulated Gate and a Vertical Channel Arrangement. Doklady BGUIR. 2024;22(6):81-89. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-81-89